中古 ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9232658 を販売中

ULTRATECH Saturn Spectrum 3e （Spectrum 3e）は、マイクロエレクトロニクスの製造に高精度な基板露出を提供するように設計された高度なウェハステッパーです。ULTRATECH特許出願中の単反射計測装置を搭載し、最新の技術を活用して、あらゆるサイズの基板に正確で反復可能な結果を提供します。スペクトル3eの高度な光学系は、トレンチ、絶縁、リソグラフィ、誘電体エッチングなどに正確なオーバーレイを提供するように設計されています。非接触、低ノイズ、低メンテナンスのAutoFocusシステムを備えており、基板の高さのバリエーションにすばやく調整できます。高度な高解像度イメージングおよび検査ユニットは、欠陥防止に役立ち、全分野にわたって2ミクロンの分解能を提供します。さらに、アップグレードされた露出機は、ウェーハおよびプロセス露出要件の柔軟な範囲を提供します。このデバイスは、精密ロボット用の最先端のステージ位置決めツールを使用しており、すべての焦点レベルで一貫した精度を保証します。その高度なマルチポイントキャリブレーションアライメントは、すべての基板の位置を検証して記録します。Spectrum 3eは、染料レーザーと半導体レーザーを使用して、イメージングとエッチング機能を強化したカスタムデザインのレーザーソースも備えています。Spectrum 3eには、露出ごとにレシピをカスタマイズするプログラミングオプションなど、プロセス制御を強化する完全なソフトウェアパッケージが含まれています。このデバイスには、露光時間とドーザー精度の内部予測器も装備されています。さらに、業界をリードするオンラインモニタリングアセットは、オペレータにデバイスのパフォーマンスに関するリアルタイムフィードバックを提供します。安全性に関しては、Spectrum 3eは安全性のためにUL/ENL評価されており、機器の異常を検出するためのモーションスタットトラッキングモデルを備えています。さらに、このデバイスには最新の診断機能が組み込まれており、ダウンタイムを削減しながら最適な安全性を確保します。包括的で精密なULTRATECH Spectrum 3eウェハステッパーは、基板精度とプロセスの互換性を最大化するために探しているあらゆるマイクロエレクトロニクス施設に最適です。その先進的な光学およびイメージングシステムは、優れた精度とプロセス効率を提供し、包括的な安全機能によりプロセスの信頼性を保証します。