中古 ULTRATECH Saturn Spectrum 3e #9160685 を販売中

ULTRATECH Saturn Spectrum 3eは、15nmの範囲で機能を備えたウェーハを製造できる高性能、汎用ウェーハステッパーです。幅広いモジュールとオプションを備えており、さまざまなカスタマイズを可能にし、高速で自動化されたアライメント装置は正確な位置決めを保証します。このウェーハステッパーは、電動のXYステージとZポジショナーを中心に設計されており、正確なステップアライメントと繰り返し、高解像度の照明システムにより、個々のウェーハを均一な照明で照らします。ステッパーはステージに取り付けられたACモーターによって駆動され、0。1 µmの解像度までのリニアモーションを実現します。ULTRATECH SATURN SPECTRUM 3 Eはまた、高速画像キャプチャユニットを備えており、1フレームあたり最大5 Hzでウェーハの画像を取得できます。この機械は15nmより小さい次元の特徴の小さい欠陥そして相違を、検出することができます。Saturn Spectrum 3eには、パターニング、検査、計測、製造ワークフロー管理用に設計されたプログラムが付属しています。また、GDS、 CDL、 VHDL、 CIF、 OASISなどの複数のソフトウェアプログラムや標準レイアウトフォーマットと互換性があり、既存のワークフローのカスタマイズと統合の柔軟性を高めます。ウェーハステッパーは最大50個のウェーハチャック配置オプションを提供するため、メインチャックを調整して照明と画像カバレッジを最適化できます。また、最大1。2kWのUV照明を提供することができるカスタムビルドの強力な照明器を備えています。SATURN SPECTRUM 3 Eは、特許取得済みのクローズドループツールアラインテクノロジーを採用しており、15nmのサイズのフィーチャーのパターン作成において極めて正確な位置精度を実現します。また、ウェーハチャックインターロックも強化されており、ウェーハアライメントが複数の露出に最適化されたままになります。ULTRATECH Saturn Spectrum 3eは信頼性の高い高性能ウェーハステッパーで、最大15nmの機能を備えた高精度ウェーハを製造できます。強力な照明、正確なアライメント、汎用性の高いソフトウェア統合により、このウェーハステッパーはさまざまなアプリケーションやワークフローに最適です。