中古 ULTRATECH Saturn Spectrum 300e #9221672 を販売中

ULTRATECH Saturn Spectrum 300eは、優れた解像度、スループット、および精度を提供するように設計された高性能ウェーハステッパーです。最先端のイメージングシステムを採用したSpectrum 300eは、150mmウェーハを処理する機能を備え、位置精度は2ミクロンです。2Xテレセントリックレンズは超低歪みを利用し、視野全体に最適な焦点と均一な画像を提供します。これにより、ステッパーはウェハサイズ範囲全体にわたって最適な解像度を生成することができます。Spectrum 300eには、レーザービームを使用してイメージングシステムの伝達機能、ドリフト、ノイズを正確に測定する2つのフォトンカウンタースキャナもあります。これにより、正確で信頼性の高いイメージングが保証されるだけでなく、最も複雑なマスクでも正確に再現されます。ウェハローディングステーションは、ウェハローディングとアンロードのための簡単なインターフェースを提供するように設計されています。標準の動作モードに加えて、ウェーハローダーを前後のアライメントに簡単に設定することができ、最適なスループットを実現します。性能面では、Spectrum 300eは市場で最も高速なウェーハステッパーの1つです。これは、最大300mm/秒のスキャンレートを提供できる2線露光システムで設計されており、プロセスが迅速かつ正確に完了することを保証します。最大の効率を確保するために、Spectrum 300eにはステッパーの効果的な監視と管理のための一連のソフトウェアが付属しています。ソフトウェアスイートは、ステッパーとウェーハのローディングを制御するだけでなく、パターンアライメント、エッジ検出、ウェーハ回転角度の微調整、ウェーハのローディングフィールドなどの高度な機能を提供します。印象的なパフォーマンスに加えて、Spectrum 300eは使いやすく、メンテナンスも簡単です。直感的なユーザーインターフェイスとユーザー交換可能な部品により、経験を最小限に抑えた人員で簡単に操作できます。さらに、ステッパーは耐久性を念頭に置いて設計されており、お客様がその性能に自信を持てるように、定期的に終末テストを実施しています。Saturn Spectrum 300eは、最高レベルの精度、スループット、パフォーマンスを提供するように設計された革新的で信頼性の高いウェーハステッパーです。洗練されたイメージングアルゴリズムと操作の容易さのその組み合わせは、任意のラボや生産施設のための理想的な選択肢となります。