中古 ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #9357231 を販売中

ULTRATECH Saturn Spectrum 300は、先進半導体デバイスの量産に特化した高性能ウェーハステッパーです。この機械は、30 x 30 cmのワーキングエリアで、半導体加工で優れた歩留まりとスループット性能を実現します。大面積サイズのレンズ装置と全自動スキャン機能を備えたハイブリッドプロジェクションステッパーで、サブミクロンのリソグラフィ用途に適しています。このシステムには2つの独立したフォトンイメージングシステムが装備されており、フォトマスクアダプタを必要とせずにステレオリソグラフィに対応できます。ポジティブフォトレジストとネガティブフォトレジストの両方に対応できるため、レジスト加工に最適です。さらに、ユニークな「エッジプランジ」機能により、ウェーハ上の接点の正確な位置決めが可能です。Saturn Spectrum 300は、先進の9軸モーションコントロールユニットを採用し、半導体露光時の正確な再現性と安定性を実現しています。安定性と信頼性が高く、動作中の総スキャン面積の5％未満を失うことができるように設計されています。このマシンは、従来のウェーハステッパーよりも可動部品が少ないため、効率が向上し、メンテナンスコストが削減されます。オールガラスのメインオプティクスパスで構築され、高性能と超低歪み率を確保します。また、冷却にはエアウォーターミストを使用し、光路に影響を与えることなく均一な冷却性を確保します。これは、イメージとスループットのパフォーマンスを向上させるのに役立ちます。ULTRATECH Saturn Spectrum 300は、強力でユーザーフレンドリーなソフトウェアパッケージによって制御されており、さまざまな半導体加工要件に対応した操作性と柔軟性をユーザーに提供します。また、エラーの自動修正やフルスキャンリコールマシンなどの高度なデータ管理機能も備えています。Saturn Spectrum 300は、最先端の半導体処理に最適なツールです。サイズや材料の変更による中断を最小限に抑え、優れた歩留まりとスループットを提供し、信頼性とコスト効率に優れています。精度と精度の最高水準を満たすように設計されており、今日の最先端の半導体デバイスの生産に最新の性能レベルを提供しています。