中古 ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #9312357 を販売中

ULTRATECH Saturn Spectrum 300は、半導体製造のためのフォトマスクの準備に優れた柔軟性を提供する高度なウェーハステッパーです。自動化されたウェーハカセット装置と連動して、均一な基板露出と配送を提供します。Saturn Spectrum 300は、200mmウェーハステージ、6Mピクセルカメラ、50,000 rpmモーターなど、基板処理に重要なさまざまな機能を提供します。標準および非標準のフォーマットで露出スキャンが可能で、自動パターン回転、レーザーパターンチェック、パターン登録、パターン依存基板露出などの特長があります。また、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、ユーザーは簡単にフォトマスク操作をプログラムして監視することができます。ガラス、石英、ポリイミドなど様々な基材に対応できるように設計されています。システムの高感度は、歪みを最小限に抑えて基板上にパターンを正確かつ正確に配置できることを意味します。また、歪みが非常に少ないスキャン時にパターンをステッチすることもできます。ULTRATECH Saturn Spectrum 300は、ウェーハ基板に一貫した露光量を提供し、スケーラブルでないパターンでの生産時間の短縮と問題の削減を可能にします。このユニットは、同じウエハ基板上に同じパターンの複数のスキャンを作成するようにプログラムすることができ、スループットと生産性が向上します。機械はまた数パーセントまでの正確さの線量を測定するのに使用することができます。Saturn Spectrum 300は、ウェーハをUVおよびEビーム放射から保護するための内蔵安全装置を含む包括的な安全機能を組み込むように設計されています。その他の安全機能には、基板の光学的損傷を防ぐための光学グリッド、および迷光の影響を排除するためのアンチグレアフィルターがあります。このツールはまた、正確な温度範囲と最適なプロセス性能を確保するために、デュアルステージの冷却資産を組み込んでいます。ULTRATECH Saturn Spectrum 300は、最高の信頼性で高解像度でパターンを生成することができます。高度なアルゴリズム駆動技術により、最高の精度と再現性を実現します。基板露出、基板ステージング、パターン登録など、幅広いプロセス操作に比類のないサポートを提供します。ユーザーフレンドリーな設計と高度な機能により、Saturn Spectrum 300ウェハステッパーは半導体Fab操作に不可欠なツールです。