中古 ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #9163594 を販売中

ULTRATECH Saturn Spectrum 300ウェハステッパーは、フォトマスクを製造するための汎用性の高い費用対効果の高いツールです。この装置には、高精度、低コストのウェーハアライメントとパターニング機能が装備されています。現在の半導体デバイスの小さな機能において、高精度なリソグラフィを提供することができます。Spectrum 300には6 「x 6」の露出フィールドがあり、6。8 「x 6。8」までの加速視野があります。ステッパーには4。3インチのレチクルウエハギャップがあり、1つの基板上の複数のデバイスで高い忠実度のイメージングが可能です。ステッパーはまた、異なる露出エネルギーを使用して画像を作成するだけでなく、位相シフトとクロムレスイメージングプロセスの両方を使用することもできます。このシステムには増分高さ調整機能が搭載されており、ウェーハステージを物理的に移動する必要なく、ウェーハ間のパターン補正が可能です。また、EFF （Electrical-Field-Free）イメージング技術を搭載し、従来のマスクイメージングで発生する画像歪みを解消します。画像忠実度に関しては、Spectrum 300は8インチレーザー光路とリニアドライブマシンで優れた解像度を提供します。ステッパーはまた、3フィールドスキャン機能と高いスループットで高い生産性を提供します。このツールは、最大3200um/秒の総スキャン速度を達成できます。アセットは合計16の露出を持つように構成することができ、複数のダイにわたるイメージオーバーレイと拡張リソグラフィを可能にします。Spectrum 300は、バイナリ格子とレフ格子の両方をイメージングし、パターンを繰り返すことができます。このモデルは0。25 μ mの解像度を備えており、タルボット対応レンズを備えているため、高度で要求の厳しいリソグラフィ用途に適しています。装置は+/-2 μ mの正確さのXおよびyの25mmの総旅行範囲を備えています。安全性に関しては、Spectrum 300にはいくつかの機能とオプションがあります。目の安全シャッター、二重チェーン操作および仕事の中止。ステッパーは、最先端のCE準拠の制御システムとユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えており、簡単な操作を可能にします。Saturn Spectrum 300ウェハステッパーは、フォトマスクを製造するための費用対効果の高い信頼性の高いツールです。このユニットには、精密かつ正確なイメージング、高い生産性と画像忠実性、およびさまざまなリソグラフィ用途に適した安全機能を備えています。