中古 ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #293807072 を販売中
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ULTRATECH Saturn Spectrum 300は、ダイレクトライトリソグラフィ用途に正確にステップ露光を提供するように設計された最先端のウェーハステッパーです。これは、高性能と露出あたりのコストが非常に低い独自のブレンドを提供します。ステッパーはULTRATECH独自のSaturn 300プラットフォーム技術に基づいており、高度な2µm解像度を提供します。自動アライメント機能を備えた共振コイルパターンスキャンステージ、高度なSTEMイメージング装置、統合システム制御、強力な真空ポンプユニットが含まれています。ステッパーはまた、0。0025ミクロンの解像度を持つ4軸回転顕微鏡に取り付けられた高感度の光学CCDカメラを備えています。このイメージングカメラは、パターンが非常に小さいにもかかわらず、細部を正確にキャッチするのに役立ちます。Saturn Spectrum 300は、低収差と高精度イメージングを保証する統合された光学機器を備えています。光学ツールは、さまざまな測定範囲に対応でき、高いダイナミックレンジと高速測定時間を備えています。また、ステッパーは高品質で信頼性の高いフライトヘッドアセットを備えており、粒子数の少ない高スループット露出を実現しています。このフライトヘッドは、露出ステップ中のパターンの動きと歪みの正確な露出と監視に役立ちます。また、サブミクロンフィーチャーサイズの均一なフラットレチクルを提供するのにも役立ち、リソグラフィや検査タスクを高速で実行するのにも役立ちます。ULTRATECH Saturn Spectrum 300は、すべてのコンポーネントに簡単にアクセスできます。ユーザーインターフェイスはよくレイアウトされており、使いやすいです。ステッパーには、温度監視やカメラシールドシールドなどのいくつかの安全機能が含まれています。最後に、Saturn Spectrum 300は、最高レベルの密度分解能で優れた画質を提供することができます。その高度な機能と高度な真空ポンプモデルは、すべての直接書き込みリソグラフィ用途に最適なツールです。
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