中古 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9293521 を販売中

ULTRATECH Saturn Spectrum 3ウェーハステッパーは、製造工程における半導体の正確かつ効率的なアライメントと露出のために設計された半自動ツールです。このツールは、9 "x9" x-yステージ、2つの8"ラウンドロビンステージ、および600mmの深さのフィールドを備えています。コンピュータ制御のデジタルパターンジェネレータ（PG）を使用し、サブミクロン分解能を提供し、高スループットの繰り返し精度を提供します。Saturn Spectrum 3ウェーハステッパーは、堅牢なフレーム上に構築されており、ツールがウェーハを処理する際にかなりの安定性を提供します。2つの8"ラウンドロビン段は、露出時にウェーハの正確なアライメントと位置決めを行うことができ、両面処理、マルチレベルパターニング、および高スループットを可能にします。さらに、このツールの3つの軸はすべて一緒に動作し、半導体処理のための最先端の操作を容易にすることができます。このツールに含まれるPG駆動ソフトウェアスイートの一部は、ウェーハのセットアップと微調整を支援するオートアライン機能です。この機能は、スループットを向上させるだけでなく、露出層ごとにウェーハを位置に合わせて最適なアライメントを確保するのに役立ちます。2000-line/mm光学系は、より高いNAレベルで発生する可能性のある光の幾何学的歪みとフレアを除去することによって、パターンの明確な画像を提供します。ULTRATECH Saturn Spectrum 3ウェハステッパーは、焦点イオンビームコーターと組み合わせて、手動プロセスを排除する完全自動化システムを提供します。低熱ドリフトにより温度補償精度が保証され、メンテナンスコストも低く、さまざまなプロセスや基板に最適なツールです。さらに、コンピュータ制御ソフトウェアは、正確さと再現性の高い出力を保証し、広範な生産サイクルでも柔軟性と優れた結果を得ることができます。Saturn Spectrum 3ウェハステッパーは、精度と精度を備えた高度な自動半導体加工を提供します。コンピュータ制御の精度、X-Y機能、両面処理により、最先端の基板の製造において強力なツールとなっています。