中古 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9281727 を販売中

ULTRATECH Saturn Spectrum 3は、小型チップ設計の一環として、さまざまなサイズの基板とウェーハを整列およびパターン化するように設計された高精度ウェーハステッパーです。この製品は、最先端の機械技術を取り入れ、高度な光学技術と組み合わせることで、基板やウェーハにフォトリソグラフィックパターンを非常に正確に適用することができます。Saturn Spectrum 3は、精密モーションシステムに搭載された高解像度レンズ装置で構成されており、アライメントとパターンアプリケーションの精度を最大限に高めることができます。高精度レンズユニットはウェハステージヘッド内に収納され、信頼性の高いステッパー性能と正確に制御された動きを提供します。ULTRATECH Saturn Spectrum 3には、基板またはウェーハへのパターン投影の精度をさらに高めるために、ステッパーが基板またはウェーハを素早く揃えることを可能にする画像歪み補正機が装備されています。このツールはまた、ステッパーがプロセスチャンバー内のさまざまな位置に移動したときに自己キャリブレーションが可能であるため、最適なパターン配置を保証します。Saturn Spectrum 3は、X軸およびY軸上の25mmのフルウェーハまたは基板サイズで最大1マイクロメートルのプロセス分解能を提供するように設計されています。露出パターンは0。25から5ミクロンの範囲で、顕著に精密なデバイスと微細構造を生成します。ステッパーはフォトレジストとドライフィルムの両方のリソグラフィを使用することができ、特殊な材料加工と機能強化を可能にします。さらに、ステッパーには自動デバイス識別アセットが内蔵されており、正確なパターンアライメントを確保するために部品登録に正確な部品を提供します。ULTRATECH Saturn Spectrum 3は、洗練された光学および機械機器とは別に、最先端のソフトウェアで構成されており、最大限のプロセス制御が可能です。このソフトウェアは、リアルタイムのデータ解釈だけでなく、すべての処理手順のためのオンラインのトレーサビリティを提供しています。さらに、異なるタイプのリソグラフィのための正確なパターン化と適応を可能にします。全体として、Saturn Spectrum 3は、高度な光学系とモーションシステムで並外れた精度を提供する最高級のウェーハステッパーです。さまざまなタイプのリソグラフィに正確なアライメントとパターンの適用を保証し、高精度のデバイスやマイクロストラクチャーを製造するための理想的なツールです。