中古 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9280616 を販売中

ULTRATECH Saturn Spectrum 3は、要求の厳しい生産設備のニーズを満たすように設計された最先端のウェーハステッパーです。土星スペクトルのこの特定のモデルは、これまでにないレベルの性能、精度、信頼性を提供します。Saturn Spectrum 3は10°までのダイナミックな視野を持ち、1 µmの解像度でウェーハを整列させることができます。このような精度を実現するために、高性能スキャナ、一体型の精密移動アクチュエータ、高精度ステージ、高速プロセッサを搭載しています。ステッパーの精度と再現性を維持するために、ULTRATECHは機械の構造に柔軟なガイド技術を取り入れています。この設計により、振動や誤動作にさらされた場合でも、ウェーハが整列している間も安定していることが保証されます。統合された精密移動アクチュエータは、正確で再現性のある性能を保証するのにも役立ちます。アクチュエータは、ミニチュアリニアモータを使用して、最大速度40mm/sのx、 y、 Z軸でステッパーを動かすことができます。この高速アクチュエーションは、オートフォーカス（AF）機能を内蔵しており、ウェーハの最適な位置を自動的に特定することができます。ULTRATEKは、大幅なコスト削減を実現するため、幅広いソフトウェアツールを備えたULTRATECH Saturn Spectrum 3を搭載しています。ステッパーのソフトウェアパッケージには、統計的フィードバックプログラム、顕微鏡検査プログラム、および時間の経過とともにマシンのパフォーマンスを監視するトレースレポート機能が含まれています。さらに、Saturn Spectrum 3は生産ラインへの容易な統合のために設計されています。自動ハンドリングシステムの標準通信プロトコルとの互換性を備えており、パフォーマンスを向上させるために追加のハードウェアコンポーネントを使用してアップグレードすることができます。ULTRATECH Saturn Spectrum 3は、優れた機能、堅牢な構造、および容易な統合により、厳しい生産要件に対する信頼性と正確なパフォーマンスを保証します。