中古 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9186993 を販売中

ULTRATECH Saturn Spectrum 3は、半導体製造に自動化されたアプローチを提供する最先端のウェーハステッパーです。この装置は、さまざまな集積回路層の高スルーパット生産を容易にするように設計されています。統合されたビジョンアライメントシステムにより、高解像度の登録と露出精度が可能で、最も信頼性の高い層から層の均一性を保証します。Spectrum 3は、4インチウェーハマッチング能力を備えた立体イメージングを採用し、5軸スキャン機能を備えた4段XY自動位置決めユニットを備えています。また、自動ウェーハ交換アセットと統合真空制御モデルを備えた高度なステージコントロールツールを備えています。これにより、カセットからウェーハを簡単に積み降ろすことができ、6ゾーンの暖房オーブンがあります。この機能により、ウェーハの前後両側面の均一な熱露出が可能です。さらに精密露出精度を向上させるために、オプションのショートアーク高輝度放電（HID）ランプも付属しています。Spectrum 3は、露出を開始する前にウェーハステップエッジを検査するコンピュータ駆動の光学ステージとビジョン検査システムを使用しています。超高解像度（900nm）の登録が可能で、シングルおよびダブルパターニング機能を備えています。また、柔軟性に優れ、幅広いウエハ処理環境との完全な互換性を提供し、0。25umから28nmまでの現在の技術に対応できます。このマシンは、スループットと効率を最大化するように設計された堅牢なソフトウェアパッケージを誇っています。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）は、リアルタイムおよびオフラインデータ分析および2-Dおよび3-Dビジュアライゼーションツールを提供します。そのため、Spectrum 3は精密半導体製造環境に最適です。