中古 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #9182395 を販売中

ULTRATECH Saturn Spectrum 3は、フォトリソグラフィ処理用に設計された最先端のウェハステッパーです。ステッパーとして、半導体ウェーハ上にトランジスタなどの回路特性を電磁放射に露出させることができます。Saturn Spectrum 3は、高度な紫外線、光学、その他の波源を利用して、イメージングを最適化し、写真処理時間を最小限に抑えます。ステッパーは2µmの印象的な解像度と18mmフィールドの自動フィールドステッチを備えています。その堅い構造は速く、正確な特徴の配置を可能にし、それに100mm/secまでの拡張スキャンの速度を与えます。また、ウェーブフロント解析とアライメントのための洗練されたシステムを備えており、ウェーハの洗練と精密配置に最適です。ULTRATECH Saturn Spectrum 3は、トップダウン整列法を使用したデュアルコンポーネントリソグラフィーシステムを備えています。これにより、最大直径18mmまでのウェーハおよび露出光学構造を効率的に処理できます。それはまた10-40°C。の働く温度較差の5"までの基質を支える安定性が高い部屋および負荷ロックを特色にします。ステッパーには、Windows 10およびLinuxオペレーティングシステムと互換性のあるユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスが付属しており、機密データと知的財産を保護するために孤立したファラデーケージの両方で製造されています。220VAC、三相の電力要件があり、イーサネット、RS232/485、またはI/OSインターフェイス通信方法もサポートしています。このステッパーは、フォトレジストイメージング、化学増幅、エッチングなど、半導体業界が必要とする高度なリソグラフィープロセスに最適です。Saturn Spectrum 3は、研究分野、産業分野、医療分野で使用されているかにかかわらず、ウェーハ処理の現在および将来の基準を満たす能力をバックアップできます。