中古 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #293761611 を販売中
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ID: 293761611
ウェーハサイズ: 6"-8"
ヴィンテージ: 2001
Stepper, 6"-8"
Type: Silicon
Flat notch wafer
Reticle size, 6"
DOF Monitor
Lamp intensity
i-Line and GHI
Resolution: 5 µm
(3) GHI Stepper
12-Slots reticle library
GENMARK Robot and controller
GENMARK Pre-aligner
Wafer chuck, 5"-8"
WAS Alignment
Wavelength filter
Illuminator
P/N:5000533 USHIO USH-1003FA Lamp
RASCO TBW-UD60S Chamber
Illuminator performance:
GHI Lamp: 1425 mJ/cm²
i-Line lamp: 455 mJ/cm²
2001 vintage.
ULTRATECH Saturn Spectrum 3は、半導体産業のハイエンドフォトリソグラフィックイメージング用に設計された先進的なウェハステッパーです。9軸リニアモータ駆動のスキャンステージと高精度デュアルミラー計測装置を組み合わせ、優れた解像度を実現しています。自動化されたウェーハ交換システムにより、途切れることなくウェーハ処理が可能で、2インチ、4インチ、6インチのウェーハと互換性があります。ステッパーはまた、シングルレベルとマルチレベルの両方のレジストのイメージングを最適化するために調整することができる高精度の光アライメントユニットを展示しています。Saturn Spectrum 3は、セットアップ、アライメント、ウェーハ交換、ジョブ制御を支援する、直感的で使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスによって駆動されます。「インテリジェントオートフォーカスマシン」などの高度な機能により、あらゆる種類のウェーハプロセスで効率的なイメージングが可能です。セットアップとキャリブレーション時間は最小限で、'Melt-On Delay'や'Cycle-Trace'などの機能により、イメージングの一貫性が向上し、プロセス開発時間が短縮されます。ステッパーには、'MaxRepeatTM'や'Free LinTM'などの幅広いプロセス最適化アルゴリズムとイメージングツールも含まれており、さまざまなプロセス工程や材料に最適なクリティカルな寸法と線幅制御が可能です。さらに、ULTRATECH Saturn Spectrum 3は、さまざまなウェハハンドリングシステムと統合する機能を備えており、イーサネットベースの通信リンクを使用して、社内ツールまたは遠隔地で制御することができます。土星スペクトル3はまた、微粒子の環境制御を容易にするように設計されたさまざまな環境設定を提供します。排他的な「アクティブモニタリングアセット」を使用することで、オペレータはウェーハステージの温度、湿度、振動レベルを制御し、ウェーハの使用率と歩留まりを最大化することができます。さらに、ステッパーは最適なベーキング条件を開始するために「自動ベークオンプレゼンス」を備えていますが「、ドライストップ」機能は、ストリッピングやPRフリングなどの安定性に重要なプロセス中に潜在的な汚れを排除します。ULTRATECH Saturn Spectrum 3には、防火や緊急遮断などの安全機能と、振動を低減する吸収ベースプレートが組み込まれています。これは、最も厳格な安全基準と認証に準拠するように構築されているため、超低汚染および超精密画像プロセスに適しています。Saturn Spectrum 3は、高精度で次世代の半導体ウェーハの製造に最適なウェーハステッパーです。
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