中古 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #293642851 を販売中

ULTRATECH Saturn Spectrum 3は、半導体製造用に設計された最先端のウェーハステッパーです。コスト効率、低メンテナンス、高解像度と優れた精度と運用効率を兼ね備えています。Saturn Spectrum 3は、優れたウェーハ性能を提供するために、最新のステップ・フィールド・リソグラフィ技術を採用しています。この装置は、より高い精度とより小さなフィーチャーサイズを可能にする2段階のリソグラフィープロセスを利用しています。このイノベーションにより、競合モデルよりも高いアライメント精度を実現します。ULTRATECH Saturn Spectrum 3には、高速で信頼性の高いプロセス時間を確保するための高精度、高密度露光システムも装備されています。この単位は一貫した、反復可能な性能を提供するtwostageの高輝度光源によって動力を与えられます。ユーザーは、高品質の結果を確保するために露出時間を調整することができます。Saturn Spectrum 3には、多くの高度なオートメーション機能も含まれています。これらの機能には、自動で再現可能なステッピングプロセス制御が含まれます。これにより、追跡精度が向上し、スプリットエッジの登録と衝突回避が可能になり、アライメント精度が維持されます。さらに、このマシンには、最適なウェーハ性能を確保するためのツールキャリブレーションとモニタリングツールが含まれています。さらに、ULTRATECH Saturn Spectrum 3はウェーハインプラントとアニール機能を提供します。このアセットは、高度な電子ビームリソグラフィーモデルを使用して、インプラントの高品質なレジスト機能を実現し、フロントエンドとバックエンドの両方のプロセスを統合することができます。最後に、Saturn Spectrum 3は、操作とプロセス制御を簡単に行うための直感的なユーザーインターフェイスも備えています。この機器は、最新のグラフィカルディスプレイ技術を使用して、現在のシステムステータスとワークフローを明確かつ包括的に表示します。全体として、ULTRATECH Saturn Spectrum 3は、半導体メーカーがプロセスとパフォーマンスの精度を維持できるように設計された強力で費用対効果の高いウェーハステッパーです。リソグラフィの最高性能と洗練されたオートメーション、ユーザーフレンドリーなインターフェースを組み合わせ、優れたウェーハ性能を実現します。