中古 ULTRATECH Saturn Spectrum 3 #293628684 を販売中
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ID: 293628684
ウェーハサイズ: 4"-8"
ヴィンテージ: 1998
Stepper, 4"-8"
G&H i-Line optics
Lamp, 1000 W
Extended Focus option for thick resist exposure capability
GENMARK robot
Servo pre-aligner
Reticle, 5" (Capable of upgrading to 6")
Reticle barcode reader
Wafer Edge Exclusion (WE)
Auto aperture
COGNEX Machine Vision System (MVS)
Max FOV of 44mm x 26.7mm
Numerical aperture: 0.16
Lower pelicle protection
Pneumatic-lock movable handler
1998 vintage.
ULTRATECH Saturn Spectrum 3ウェハステッパーは、高度な光学リソグラフィ用途向けに設計された高精度で高性能なツールです。それは優秀な光学性能、大きい6。5インチの分野サイズおよび高度の光学設計を結合します。Saturn Spectrum 3は、最大露光面積が6。5インチのマルチユーザーシステムで、高いスループットと低コストの所有コストを提供します。ULTRATECH Saturn Spectrum 3の高度な光学設計は、4ミラーイメージングシステムを使用しており、アスペクト比が高く画像歪みが少ない優れた画質を提供します。また、6。5インチの大きなフィールドサイズを備えているため、複雑なデバイス設計においてデバイスのカバレッジを高めることができます。優れた焦点深度と低NAを提供するため、低k1の重要なアプリケーションに最適です。Saturn Spectrum 3は、先進的な光学系に加えて、高速Imationドライブとロードポートも備えています。これにより、高速かつ効率的なウェーハ処理が可能になり、スループットと生産性が向上します。ULTRATECH Saturn Spectrum 3は、オートアライメント、ビジョンベースのアライメントキャリブレーションシステム、統合レーザー干渉計など、幅広いウエハハンドリングオプションを備えています。これにより、優れたアライメント精度とスループットを実現し、大量生産に最適です。Saturn Spectrum 3はシングルユーザモードとマルチユーザモードの両方で動作します。標準のネットワーキングプロトコルを介して他のツールに簡単に接続でき、リモートアクセスが可能で、Windowsベースのコンピュータと完全に互換性があります。直感的なメニュー駆動インターフェースにより、使いやすく、特定の操作に合わせてカスタマイズおよび最適化するための追加のソフトウェアオプションが複数用意されています。全体として、ULTRATECH Saturn Spectrum 3は、優れた光学、高スループット、および低コストの高精度光学リソグラフィ用途向けの優れたツールです。高度なオプティクスと統合されたウエハハンドリング機能により、高度なデバイス設計にとって非常に貴重なツールとなり、直感的なユーザーインターフェイスと豊富なソフトウェアオプションにより、特定のアプリケーションに簡単にカスタマイズできます。
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