中古 ULTRATECH Saturn III 6700 #293651574 を販売中
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ULTRATECH サターンIII 6700ウェハステッパーは、半導体デバイスの製造に使用される精密光学リソグラフィ装置です。ネットワークベースのアーキテクチャと慣性多軸処理システムを備えた9インチの自動整列高度なステッパーです。これにより、高度なマイクロエレクトロニクスの高速生産のためのフォトマスクの正確で正確で再現性の高い配置が可能になります。6700シリーズは優れたスループットを提供し、露出時間は常に0。25ミクロンのハイエンド歩留まりを提供します。内蔵の精密モーションコントロールにより、最大8台のダイを同時に高速で信頼性の高い正確な位置決めとスキャンが可能です。オペレータインターフェイスは、タッチスクリーンLCDモニターと包括的なユーザー診断を備えています。6700シリーズは、SOL-Gel、 ALD、 HRG （High Resolution Glass）などの幅広いフォトレジストに対応しています。6"露出区域は1つのマスクセットが複数の装置サイズをカバーできることを意味する6"から12"まで及ぶ装置サイズを扱うことができます。高耐久露光システムは、最大3 mW/cm2の光源出力と45-200 mJ/cm2の線量露出で、広い領域にわたって均一な露出を保証します。高解像度ビットマップ、ベクトルグラフィックス、画像、テキストデータなど、さまざまなソースからの多彩なデータ入力は、4MBのオンボードメモリとバルクデータ入出力インタフェースで簡単に管理できます。Saturn III 6700は、硬化した産業用空気軸受を搭載し、高速で反復可能な多軸ステージ動作を実現します。高調波歪みを防ぐ差動ドライブミラーを内蔵し、露出時の信頼性の高い動作を保証します。さらに、6700シリーズには強力な露光およびフォーカス制御アルゴリズムが搭載されており、ULTRATECHのハイエンドリソグラフィーツールと互換性があります。内蔵の露出モニターは露出条件が均一で反復可能であることを保証し、フォーカスモニターを使用するとウェハレベルのフォーカスコントロールを実行できます。ULTRATECH Saturn III 6700は、ハイエンドリソグラフィの再現性、精度、速度、解像度を大規模に生成するのに最適です。コスト効率と堅牢な機能の組み合わせにより、さまざまな高度なマイクロエレクトロニクスプロジェクトを達成するのに最適です。
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