中古 ULTRATECH Saturn AP 300 #9163161 を販売中

ULTRATECH Saturn AP 300ウェハステッパーは、半導体業界の高度なフォトリソグラフィ用途向けに設計されており、特に大量のアプリケーションや迅速なデバイス処理に適しています。AP 300は、直径300mmまでのウェーハを取り扱うことができ、基板サイズに関係なく、すべてのプロセスパラメータで高い均一性を生み出す特許取得済みの還流イメージング装置を備えています。システムは解像度を0。25ミクロンまで達することができ、高度なデバイス形成のためのファインラインパターンを可能にします。AP 300は、ダブルパスのS字型スキャンステージと、完全なウェーハカバレッジのために互いに垂直な2つのスキャン軸を備えています。これにより、優れた再現性と低い歪みで正確に揃えられたパターンが可能になります。このユニットにはプログラム可能なハイブリッドシャッターがあり、さまざまな露出時間、スタックショット、または視野内の独立した場所を除外してウェーハのさまざまな領域を同時にスキャンできます。この機能により、スループットが向上し、AP 300はフォトマスクのアライメントに適しています。精密イメージング機能に加えて、AP 300は自動化された光学アライメントマシンも備えています。高感度のデジタル検出器を使用して、フォトマスクの位置とステッパー位置を9um精度以内にすばやく決定および調整します。この機能により、セットアップ時間が短縮され、印刷結果が最適化されます。また、AP 300は、ウェーハ保護、マスクアイデントテーブル、自動化された水流監視、およびカセット処理機能を備えたロボットローダーから、電源障害保護などの高度な自動化を備えています。このツールには、画像変更、プロセスレシピ、ウェーハトラッキング、および印刷されたウェーハ情報用のユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えたコンピュータも付属しています。保護の最終層として、製品には、壊滅的な資産の故障が発生した場合に即座にシャットオフを提供するフェイルセーフ機能が多数装備されています。Saturn AP 300ウェーハステッパーは、大量の作業を行うための高度で信頼性の高いツールです。優れた解像度、自動化された機能、正確なスキャン機能により、AP 300はデバイス製造のためのワンストップソリューションを提供します。包括的な機能を備えたAP 300は、高性能フォトリソグラフィ処理に最適です。