中古 ULTRATECH Sapphire 100 #293645247 を販売中

ULTRATECH Sapphire 100は、MEMS、オプトエレクトロニクス、その他の半導体アプリケーション向けに特別に設計されたマルチフィールド階層ウェハステッパーです。最新のリソグラフィ、計測、オートメーション技術を搭載した高度なツールです。このツールは、超高速、サブハーフミクロンのステップサイズ、および± 1ミクロンの最大再現可能な精度を備えています。また、エンタープライズレベルの生産を保証するために、非常に柔軟なドライブパルス、プロセスパラメータ、カスタマイズを提供します。サファイア100は、非常に高精度を必要とするアプリケーションに最適な経済的で高性能なステッパーです。正確かつシームレスに正確なパターン形状、フィーチャーサイズ、位置精度を提供する機能を備えています。これにより、マイクロパッケージ、MEMS、 SOI、アドバンスドスイッチ、マルチアパーチャーレンズなどの必須デバイスの製造に最適です。ステッパーには、複数のレンズと多色および高出力のLED照明ソースで構成される強力で高速コントローラと最適化された光学系が装備されています。このシステムにより、1 μ m以上の最大5倍のステップサイズでの基板のスキャンが可能になり、最大加工精度は0。5 μ m ±なります。マルチフィールド階層ステップスキャン技術は、市場投入までの時間を短縮し、スループットを向上させ、1時間あたり600以上の部品を使用します。ULTRATECHサファイア100は、優れた画質、優れたスループット、高調波照明の最適化を実現するために微調整されています。また、in-situクリーニングシステムを備えており、厳格な汚染管理基準を確保し、診断と自動化されたプロセスデータ分析により、スクラップを最小限に抑え、歩留まりを向上させます。さらに、Sapphire 100は複雑な幾何学的形状をプログラミングするためのユーザーフレンドリーなインターフェースを備えており、複数のユーザーアカウントでワークフローを改善できます。全体として、ULTRATECHサファイア100は、MEMS、オプトエレクトロニクス、その他の半導体アプリケーションに不可欠なツールです。精度と柔軟性を兼ね備え、優れた画質、マルチフィールド階層スキャン、高度な制御システム、現場洗浄により、高性能で費用対効果の高い生産に最適です。