中古 ULTRATECH NanoTech 160 #9398756 を販売中

ULTRATECH NanoTech 160は、複数の業界にわたるリソグラフィ用途向けに設計されたウェハステッパーです。これは、高品質のチップ生産のコストを削減するのに役立つ信頼性の高いフォトリソグラフィーツールです。操作の簡素化、機器の信頼性の向上、露出後の比類のないパフォーマンスを提供し、幅広い高性能チップ設計を実現します。NanoTech 160は、シリコンウェーハの表面をスキャンすることにより、ナノレベルの機能と複雑なデバイスを生成することができます。これは、洗練されたマルチフィールド均質化オーバーレイシステムを使用して、リソグラフィープロセスのすべての層の均一な露出を確保します。また、ステッパーは露光時に薄膜マスクを正確に揃えることができます。ULTRATECH NanoTech 160は、自動スキャンおよびフォルトリカバリ機能も備えています。さらに、ステッパーは、高いスループット、ピクセルシャッター付きのエネルギー効率の高いデジタルスキャンヘッド、高い再現性、および硬質な生産仕様を満たすために露出を制御する能力を備えています。スキャンヘッドは精密なスキャンのための最先端の自動焦点機械と統合され、また工具の再作業およびスクラップを減らすために完全に同期された自動更新のディザリング技術があります。ステッパーはまた、低k誘電抵抗に最適な代替基板露出オプションを提供しています。NanoTech 160は、印刷されたマスクのパフォーマンスを最大化し、露出エラーの可能性を低減するために、露出制御と校正を自動化します。その高エネルギーLED露出ランプは露出時間を短縮し、生産スループットと歩留まりを向上させながら、クリーンな露出プロセスを確保します。ULTRATECH NanoTech 160は、幅広いプロセス条件で信頼性の高いパフォーマンスを提供するように設計されています。薄膜太陽光発電、ディスプレイ、医療機器、バイオテクノロジーなどの産業は、すべてNanoTech 160の信頼性の高い動作に依存しており、市場で最高のウェーハステッパーの1つです。