中古 ULTRATECH Mercury XLS 200 #9228468 を販売中

ULTRATECH Mercury XLS 200ウェーハステッパーは、高度な半導体製造プロセスの高精度チップパターンを製造することを可能にする高性能リソグラフィーツールです。XLS 200は、優れたパターン印刷精度と高いスループットを実現する高度な機能を搭載しています。この装置は、FiestoLVDSマルチレベルイメージングプラットフォームやBeamblanker電子シャッターを含む、ULTRATECHの高度なイメージング技術に基づいて構築されています。これらの技術は、精密なイメージングとビーム露出安定性の向上をもたらします。また、熱的に安定したイメージング光学系を採用し、最適な性能とパターン配置精度を実現しています。この高度な技術により、XLS 200は高解像度、低線幅、および高いオーバーレイ精度で画像を生成することができます。XLS 200は、露出のために独立して制御されたカラムを持つデュアルビームアーキテクチャを使用しています。このモジュール設計により、スループットが向上し、パフォーマンスが向上します。さらに、このプラットフォームには、露出プロセス中にマスクとウェーハを正確に配置するための5軸ステージが含まれています。また、XLS 200は柔軟で拡張性の高いアーキテクチャを備えており、高度なプロセスとオプションを統合することができます。これには、SmartSource、 Focal-Depth、 Multi-Level、 Multi-Patterning、 Polarity、 Low Dynamicsなどのオプションのリソグラフィ機能が含まれます。これにより、ユーザーはプロセスをカスタマイズし、より少ない反復でより高い収率を達成することができます。XLS 200は、ユニット校正プロセスを合理化することにより、開発コストを削減するように設計されています。それは時間を節約し、オペレータ介入を減らす速い測定レーザーの高さおよび焦点システムを含んでいます。さらに、このマシンには自動校正用の取り外し可能な校正ボードが含まれています。最先端の技術を取り入れたMercury XLS 200 Wafer Stepperは、高度な半導体製造アプリケーションに最適なソリューションです。合理的なキャリブレーションとスループットの向上により、優れたパフォーマンス、歩留まりの向上、コスト削減を実現します。