中古 ULTRATECH Mercury XLS 200 #9228467 を販売中

ULTRATECH Mercury XLS 200は、高度なマイクロエレクトロニクスデバイスのコスト効率の高い製造のために設計された高性能ウェーハステッパーです。精度と信頼性のために構築されているため、リソグラフィ作業に最適で、小型のフィーチャージオメトリを備えた高密度で複雑な設計を作成できます。XLS 200の強化されたイメージング機能により、タイトな形状や最先端の設計機能に適しています。4450mm/secの高速スキャン速度により、最も密集したパターンでも高速で正確な処理時間を提供します。高リゾリューション光学は13nmライン幅の機能の優秀な均等性およびイメージの質を提供します。高度なステージハンドリングシステムにより、ウェーハの高速ロードと正確なアライメントが可能になり、アクティブフロントエンドは低レベルのウェーハストレスを保証します。このシステムには、真空チャンバーの自動調整、露出時間測定制御、汚染制御を含む高度な制御システムが装備されています。自動チューニングと最適化機能により、スキャナ、露出源、およびウェーハ間の正確な相互作用が保証され、最適なプロセス性能が得られます。オートフォーカスおよびフォーカスドリフト補償は、XLS 200で提供され、時間の経過とともに高い精度を維持します。生産性を向上させるために、XLS 200は、複数のウェーハのロードとアンロードのオプションとレシピベースのユーザーインターフェイスを備えたバッチ処理を備えています。その検出器の精度と再現性は、リソグラフィーシステム市場において比類のないものであり、メンテナンスの容易さを念頭に設計されています。Mercury XLS 200は、ウェーハステッパーのエンジニアリング上の驚異であり、正確さと信頼性を備えたコスト効率の高い製造および複雑なリソグラフィ作業を可能にします。その特徴と能力は、半導体産業のための高度な設計を作成するために理想的です。