中古 ULTRATECH Mercury XLS 200 3160 #9228469 を販売中
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ULTRATECH Mercury XLS 200 3160は、最高のイメージング要件を満たすように設計された深紫外線(DUV)ウェーハステッパーです。この機械は製造品質管理およびプロセス最適化のためのマイクロチップを点検するために半導体業界で使用されます。この装置には、10インチ光学ステージと10インチ可変速度スキャンシステムが装備されており、正確な画像処理と正確な結果を得ることができます。Mercury XLS 200 3160は、半導体生産に最適なイメージングと分析をサポートする幅広い機能を提供します。このユニットには、高度なレーザーフォーカスガードが装備されており、イメージングをクリアかつ高品質に保ちます。レーザーフォーカスガードは、反復可能で一貫性のあるイメージングのために、イメージングセットアップの異常なアライメントを検出するように設計されています。さらに、このマシンは、ステップアンドリピート生産タスクから推測を取り出すのに役立つ2次元の格子技術を利用しています。この技術はまた、再現可能な精度で迅速で堅牢な検査を成功させるのに役立ちます。ULTRATECH Mercury XLS 200 3160は、連続した高解像度イメージングを実現するソリッドステートランプを搭載しています。このランプはまた、一部の画像でアーティファクトを引き起こす可能性がある迷い光を最小限に抑えるのに役立ちます。さらに、スループットの向上と欠陥検出のための高度な光学パスで設計されています。このパスは、不要な反射と散乱光を減らし、画像のコントラストを改善するのに役立ちます。Mercury XLS 200 3160は、ダイ、基板、レーザースキャニングアライナーなど、さまざまなアライメントマークシステムで使用できます。これにより、556mmから528mmまでのさまざまなサイズと基板のイメージングが可能になり、あらゆるイメージングシナリオで精度と再現性が保証されます。ULTRATECH Mercury XLS 200 3160は、自動化されたツールスクリプトと統合されており、ユーザーはより簡単に制御できる自動検査ルーチンをセットアップできます。さらに、このアセットは視覚的な管理ユーザーインターフェイスを備えており、イメージングプロセスをよりシンプルで効率的にするように設計されています。最後に、Mercury XLS 200 3160にはメンテナンスフリーの電子機器が装備されており、運用コストの削減とダウンタイムの削減に役立ちます。このモデルは、他の生産ツールと容易に統合できるように設計されており、生産プロセスの最適化に理想的な要素となっています。
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