中古 ULTRATECH LSA 201LP #9286627 を販売中
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ULTRATECH LSA 201LPは、リソグラフィ用途向けに設計されたウェハステッパーです。エッジバイアス照明用に特別に設計されており、レジストラインと半分ミクロンの解像度までのスペースを生成することができます。ULTRATECH LSA201LPは、モーションコントロールに高性能なリニアモータ駆動段を採用しています。これは、ウェーハ上のさまざまな形状や構造のスキャンを可能にする2軸移動段階を備えた唯一のスキャナです。これは、最高レベルの再現可能な精度を達成するのに役立ちます。LSA 201LPは、0。75の数値アペラチュアと5。4mmの視野を提供し、幅広い詳細パターンを実現します。高解像度光学系を搭載し、コンスタント照明と可変照明の両方を提供することができ、統合された自動校正機能を備えています。LSA201LPはまた、リソグラフィ中の露光光学の正確な光学アライメントを保証するクアッドビームアライメントシステム（QBAS）を備えています。ULTRATECH LSA 201LPには、スキャナの光学部品に低ノイズ電源を提供する光源カードも含まれています。これにより、電源によるノイズ誘発強度の変化によるパターン欠陥を低減できます。また、ウルトラテックLSA201LPでは、自動アライメント、画像処理、欠陥検査などの自動ウェハハンドリング機能を搭載しています。これにより、開発プロセスをスピードアップしながら、開発コストを削減することができます。全体として、LSA 201LPは高度なリソグラフィープロジェクトに適した高度なウェーハステッパーです。高い光学分解能、洗練されたオートメーション機能、および強力な光学系の組み合わせは、高度なリソグラフィー用途向けの包括的なシステムを提供します。LSA201LPは、最適な結果を達成するために最新かつ最先端のステッパー技術を必要とする人に最適です。
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