中古 ULTRATECH LSA 201 #9281314 を販売中
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ID: 9281314
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2015
Laser spike annealer, 12"
Process: Dual Beam
CIM: SECS / GEM
Fab section: Diffusion
Hardware confguration (Fab):
Main system: RASCO
Factory Interface: (2) FOUP
Handler system: GENMARK GB
Options system: DC035-UT-A Laser
Remote / Optics rack
Hardware confguration (Sub fab / Auxilliary units):
ATS Heat exchanger
2015 vintage.
ULTRATECH LSA 201は、精密スキャンおよびイメージングアプリケーションに最適な小型電界ガルバノメータスキャナです。ウェーハステッピングシステム用に特別に設計されており、繊細なマスクをウェーハ全体に正確に移動させて高解像度の画像を生成するために使用されます。スキャナには小さなプロファイルがあり、光学系やシステム内の他のコンポーネントの統合において柔軟性を高めることができます。LSA 201は、特許取得済みの電気光学フィードバックシステムを使用しており、正確で反復可能なモーションコントロールを可能にします。また、高精度の光学素子アライメントにより、アライメントの再現性と精度を実現しています。これにより、ウェーハステッパーはピクセル歪みを最小限に抑えながら正確な結果を生み出すと同時に、手動調整のコストと複雑さを低減します。スキャナは、毎秒最大50マイクロメートルのスキャン速度を可能にする高解像度スキャンシステムを備えています。5〜15ボルトの調整可能な電圧で最大2ミリアンプの電流を駆動モータに供給することができます。さらに、このデバイスには、動きを正確かつ正確に制御するための高度なデジタルインターフェイスが装備されています。ULTRATECH LSA 201は、効率的なステッピングマスクの変更を可能にするように設計されています。マスク交換を15秒程度で行える高速かつ正確な機構を備えています。また、スキャナの完全な制御だけでなく、すべての機能を提供する強力なWindowsベースのソフトウェアパッケージが付属しています。LSA 201は、動作中にデバイスが安全であることを保証する精密な安全メカニズムで設計されています。これには、過負荷の場合の自動シャットオフだけでなく、異常な動きを検出して直ちに停止するセンサーも含まれます。さらに、スキャナは、材料や技量による欠陥をカバーする2年間の保証でカバーされています。結論として、ULTRATECH LSA 201は、高性能イメージングおよびスキャンアプリケーションに最適なソリューションです。それは容易に適応可能で、非常に精密な動き制御を特色にし、効率的な操作のためのマスクをすぐに変えることができます。強力なソフトウェアパッケージは、正確な制御に必要なすべての機能と機能を提供し、安全メカニズムによりデバイスが効率的かつ安全に動作することを保証します。
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