中古 ULTRATECH LSA 100A #9392624 を販売中

ULTRATECH LSA 100Aは、リソグラフィ、回路印刷、パターニング用途向けの完全自動化、高性能ウェハステッパーです。この装置は、高度で高効率なLED光源と、高速かつ正確なウェーハ位置決めを可能にする電動ステージを備えています。LSA 100Aは、パターン化されたウエハーまたはパターン化されていないウエハーをスキャンして回路パターンを作成することができます。ステップとリピートスキャン技術を利用して、標準化されたマイクロストラクチャーを作成します。このシステムは、プログラマブルで可変的なスリットとインフィニティチューブの組み合わせを備えており、最大のリソグラフィ制御でレチクル照明を変調します。UV250光源は最大80ワットの光出力で調整可能です。これにより、複数のビーム形状を選択し、焦点深度を向上させ、視野を広げることができます。ULTRATECH LSA 100Aは、最大フィールドサイズが4インチx 4インチの0。75 µmの水平分解能を提供します。このユニットには、より正確な照明のためにスリット位置を調整できる可変スリットマシンが装備されており、精度を0.15µmすることができます。インフィニティチューブ技術は、視野全体にわたって均一で反復可能で一貫した照明を提供するように設計されています。また、より細かいパターンのための低エネルギー設定での露出の重要なダイナミックレンジを提供します。LSA 100Aには可動ステージが装備されており、ウェーハ位置の微調整やサイクルタイムの制御が可能です。ユーザーの安全を確保するため、ULTRATECH LSA 100Aは、SEMIおよびCE規格の要件を満たす高水準の安全および環境要件に準拠して設計されています。それは低い振動および低い音響の騒音レベルを労働環境が安全、快適であることを保障するために提供します。このツールは信頼性が高く、堅牢で費用対効果の高いコンポーネントを利用した信頼性の高いハードウェアおよびソフトウェアアーキテクチャを備えています。LSA 100Aは、パワフルでユーザーフレンドリーで費用対効果に優れたウェーハステッパーで、高精度で正確なリソグラフィ結果を得るための包括的な機能セットを提供します。調整可能なUV250光源、プログラマブル可変スリット資産、およびリソグラフィ制御を最大化するためのインフィニティチューブが含まれています。電動ステージは、迅速かつ正確なウェーハ位置決めを提供し、モデルは、安全性と環境要件の最高水準を満たしています。ULTRATECH LSA 100Aは、回路印刷およびパターニング用途に最適です。