中古 ULTRATECH LSA 100 #9298839 を販売中

ULTRATECH LSA 100は、さまざまな基板およびウエハサイズの正確かつ正確なアライメントを提供するように設計された高度なウェハステッパーです。ULTRATECH LSA100は、優れたリニアスライドアセンブリと正確な角度位置決めのための回転エンコーダを備えた高精度の位置決め装置です。フォトリソグラフィを実行し、複数の基板やウェーハに露出することができる完全に自動化されたツールです。このシステムは、高スループット、優れた位置決め精度、および独自の画像およびプロセス制御を提供します。このユニットは、特許取得済みの磁気リフトマシンを使用して、さまざまなプロセス操作中に制御された均一な動きを実現します。このツールはまた、ユニークで高解像度で堅牢なレーザー干渉計ベースのアライメントアセットを備えており、モデルとウエハ基板間の正確で一貫したアライメントを保証します。この装置は、4インチおよび6インチの円形基板を含むさまざまなウエハサイズに対応しています。また、様々な光学イメージングシステムで動作するため、様々な波長や解像度での露光に最適です。LSA 100はまた、露出プロセスを正確に制御できる高度なプロセス制御ユニットを提供しています。このマシンは、露光時間やエネルギー強度の変化を可能にするために、同じ基板上の複数の露出をサポートしています。さらに、このツールには高度な3D測定アセットも付属しており、必要に応じて露出パラメータを調整して最適化することができます。LSA100は、高度なオートメーション技術を使用して、正確で再現性のある正確な処理を保証します。プログラム可能なモーションコントロールモデルにより、ユーザーは高度な画像ベースのプロセス制御を利用できます。また、生産中にさまざまなプロセスパラメータを監視できる高度なレポート機能も備えています。全体として、ULTRATECH LSA 100は、さまざまな基板およびウェーハサイズの優れた精度と精度をユーザーに提供するように設計された高度なウェーハステッパーです。磁気リフトシステム、レーザー干渉計ベースのアライメントユニット、プロセスコントロールマシン、および高度なオートメーション技術により、フォトリソグラフィおよび露光アプリケーションに最適です。このツールは、可能な限り最高の画質、プロセスの信頼性、優れたスループットを提供するように設計されています。