中古 ULTRATECH LC 37 #9036437 を販売中

ULTRATECH LC 37は、強力なリソグラフィ精度と優れた機器信頼性を提供する多機能で費用対効果の高いウェーハステッパーです。このシステムは、高解像度のイメージング、6インチウェーハ上の正確なパターニング、およびあらゆる露出で信頼性と再現性の高い性能を提供する、大量の生産環境の要求に応えるように特別に設計されています。洗練されたソフトウェアは、グラフィカルユーザーインターフェイスを通じて、使いやすいデザイン、アライメント、測定、露出機能を提供します。ユーザーインターフェイスは、直感的な機能と設定を備えたプロセス全体を通じてオペレータを導き、正確なパターンをより短時間で、より少ないエラーで作成できるようにします。ジョブスケジューリング、ミスアライメント調整、Auto Bright FieldやAuto Tone Controlなどの光学設定の配列などの高度な機能も提供しています。本機は、直径12インチまでのウェーハ露出を可能にする高度なウェーハ処理装置を搭載しています。特許取得済みのこのツールは、ユニークなエアベアリングコンベア操作を使用しており、X軸とY軸の両方で非常に正確で反復可能な動きを実現しています。また、カセットから露出領域に6インチウェーハを正確かつ再現可能な2段ポジショニングアセットを提供し、位置決め精度は3 μ mです。また、高出力光源を採用し、露出均一性に優れています。そのパルスUVレーザーは、ウェーハ全体に均一な露出を提供します。これにより、不均一性を排除することで最大限の解像度を実現します。UVレーザーのパワーと壁の暗さは、大量の露出に最適です。このウェーハステッパーには、セミオープンアーキテクチャとモジュラー機器が搭載されており、最新技術が登場するにつれてアップグレード性の柔軟性を提供します。高度なリソグラフィ要件のための外部ツールや、包括的なプログラミングおよび通信オプションとの統合が可能です。さらに、オートアライメント、焦点決定、電子カラム計測などの重要なリソグラフィプロセスツールの包括的なセットが付属しています。全体として、LC 37は大容量アプリケーション向けの優れたソリューションであり、優れた性能と信頼性を提供します。このシステムの機能と機能は優れたパフォーマンス、正確性、およびコスト効率を提供するため、組織はダウンタイムを最小限に抑え、スループットと生産歩留まりを効率的に最大化できます。