中古 ULTRATECH CGS-300 #9397353 を販売中

ULTRATECH CGS-300ウェーハステッパーは、半導体ウェーハ処理用に設計されたハイエンドのフォトリソグラフィーイメージングツールです。シリコンウェーハ上の非常に小さな部品やチップのパターンを作るために使用されます。ステップアンドリピート法を使用して、非常に小さなスケールで複雑なデザインを作成します。CGS-300ウェーハステッパーは、フルフィールドステップアンドリピートリソグラフィ装置で、以下から構成されます。 ステッピングモーターは、直接露出するパターンを正確に整列させるために基板を回転させます ウエハ基板にパターンを投影する超高解像度イメージングオプティクスを搭載したパターンプロジェクターヘッド イメージング光学システムの下で基質を動かすのに使用される統合された段階/基板のホールダー 温度安定性を維持するための統合されたヒーターおよび循環器 専用電源を搭載した液晶レチクルユニットで、高速かつ正確なパターン位置決めが可能 パターンプロジェクターヘッドを正確に配置するクローズドループモータ付き高精度コントロールユニットULTRATECH CGS-300 Wafer Stepperのパターンプロジェクターヘッドは、ウエハ基板に精密なパターンを投影する高出力UVレーザダイオードを備えています。位置決め精度が0。5ミクロン以内であるため、パターンサイズや位置を簡単に調整できます。最大解像度は0。25ミクロンで、直径6インチまでの大型基板からパターンを描画することができます。CGS-300ウェーハステッパーは、高度な半導体デバイス製造、電子回路基板、MEMS製造など、幅広いマイクロエレクトロニクス製造アプリケーションに適しています。高いスループットと信頼性の高いパフォーマンスにより、半導体加工に伴うコストを削減できます。ULTRATECH CGS-300ウェーハステッパーは、既存の半導体生産ラインに簡単に組み込むことができ、一般的に使用される材料や試薬の範囲で使用することができます。それは手入れ不要であるように設計され、信頼でき、正確な性能を提供します。全体として、CGS-300 Wafer Stepperは、幅広いマイクロエレクトロニクス製造アプリケーション向けに高精度で正確なフォトリソグラフィーイメージングを提供する高度なウェーハ処理ツールです。これは、信頼性と効率的な操作を確保するための機能と機能の範囲を備えています。このツールの高精度な制御と再現性により、半導体生産ラインにとって信頼性と費用対効果の高い選択肢となります。