中古 ULTRATECH AP300W #293829196 を販売中

ULTRATECH AP300W Wafer Stepperは、幅広い産業、学術、および消費者アプリケーションにおいて、費用対効果の高い超微細フォトリソグラフィープロセス用に設計された高度なリソグラフィーツールです。高いスループットレート（30分で7ウェーハ）と正確なアライメントとレイヤー登録を備えた自動ウェーハローディングとアンロードを提供し、迅速な生産を実現します。AP300Wには直感的なユーザーインターフェイス、シンプルな画面設定オプション、複雑な設計仕様に対応する600mmの視野があります。ULTRATECH AP300Wは、比類のない精度で0。2 µmまでのサイズのパターンを描画する機能を備えており、高解像度、均一、および反復可能なデバイスパターンを可能にします。また、複数のレイヤーを同時に印刷できるため、高度な精度とスループットの向上により、大量生産が可能です。ウェーハステッパーの柔軟性により、ライン、ベクトル、ラスタージオメトリのスペクトル全体をプロットでき、複数の処理レイヤのシーケンスと登録を正確に制御できます。また、manulith技術を使用して、ユーザーに高精度の多層登録制御を提供する機能を持っています。AP300Wのスキャンヘッドモーションシステムは、各レイヤー内のパターン化された要素の微細な分解能と正確なアライメントを保証します。また、機能が非常に正確に定義され、登録されており、精度は+/-0。8 µmです。ULTRATECH AP300Wウェーハステッパーは、最高の生産要件を念頭に設計された産業用リソグラフィーシステムです。これは、包括的な統合機能を備えた半自動化された機器を備えており、各プロセスで迅速かつ信頼性の高い結果を達成するのに役立ちます。また、幅広い用途での超微細フォトリソグラフィープロセスに最適な、経済的に実行可能なソリューションです。