中古 ULTRATECH AP200 #9307527 を販売中

ULTRATECH AP200は、高度なリソグラフィープロセス用に設計された最先端のウェーハステッパーです。操作中の簡単なセットアップと低メンテナンス、高解像度の光学性能を提供し、複雑な製造要件に最適です。ULTRATECH AP 200は、モータ駆動回折格子装置を使用して、二重開口システムを介して2レベルの光学電力分布を生成します。この技術は、光収差を排除しながら、高解像度のイメージング機能とイメージング時間の短縮を提供します。さらに、露出時AP200レチクルの正確な位置決めとアライメントを保証するために、アライメントとステージコントロールが内蔵されています。AP 200のメカニズムには、製品固有の調整可能なウェーハステージ、モータ駆動のレチクルスキャナ、モータ駆動のウェーハインデクサーユニット、およびウェーハハンドリング用のロードロック機構が含まれます。スキャナの角度、速度、ステップ数は、さまざまなリソグラフィのニーズに合わせて調整できます。さらに、ブームリフトドリーは、技術者がステッパーをあるエリアから別のエリアに移動することを可能にします。ULTRATECH AP200はまた、温度制御、電源保護、振動減衰、クリーンルーム操作のための他の保護システムなど、いくつかの環境保護メカニズムを提供しています。真空集塵機では、光路から粉塵粒子などの汚染物質を除去することができます。このツールは、リソグラフィ結果に影響を与える可能性のある傷、汚れ、およびその他の目に見える汚染物を防ぎます。ULTRATECH AP 200の機能豊富な設計は、従来のリソグラフィーソリューションよりも強力な利点を提供します。イメージング速度を向上させ、収差を消去し、さまざまな保護システムを採用することで、優れた精度と効率で高度なアプリケーションを実行できます。このステッパーは、高度なリソグラフィーソリューションをお探しの方に最適です。