中古 ULTRATECH AP200 #293630413 を販売中

ULTRATECH AP200は、集積回路の製造における正確なリソグラフィ用に設計された多次元、高精度のウェーハステッパーです。この革新的なマシンは、正確な再現性を備えたダイレクトイメージング技術を使用して、400nmの解像度でウェーハにパターンを正確に配置することができます。ULTRATECH AP 200には、X、 Y、 Z軸で移動できる2次元ステージが装備されています。このステージは、精密で静かな3つのダイレクトドライブモータによって作動し、ウェーハの効率的な位置決めを実現します。ステッパーには、ダブルレベルのプロセスコントローラ、複数のフルフレーム領域、およびフィールドプログラマブルゲートアレイ（FPGA）も備えています。これらのコンポーネントはすべて、リソグラフィの成功に必要な高精度アライメント、精密オーバーレイ、再現性の性能を提供するために協力しています。精密なモーションコントロールに加えAP200、高度なイメージング機能も備えています。フルフレームのインターライン転送CCD（充電結合デバイス）カメラと発光ダイオード（LED）の配列を備えており、さまざまな小さなフィールドサイズで正確なイメージングを提供します。LEDは、異なる露出フィールドサイズを切り替えるためにオンとオフを切り替えることができ、カメラはエラーが発生しないようにエリア全体を監視するために使用されます。リソグラフィ走行中に最高の精度を確保するために、AP 200には高度な計測およびウェーハ処理機能が搭載されています。これにはオートフォーカスとオートアライメント機能が含まれ、パターンがウェーハ上に正確に配置されていることを確認します。また、ウエハハンドリング機構を備えており、損傷や汚染のリスクなしにウエハーを正確に配置および除去することができます。要するに、ULTRATECH AP200は、集積回路の製造における正確なリソグラフィのために設計された多次元、高精度のウェーハステッパーです。精密な再現性、2次元ステージ、高度なイメージング機能、フルフレームインターライン転送CCDカメラ、LEDライトの配列、オートフォーカスおよびオートアライメント機能、安全で効率的なウェーハ処理メカニズムを備えています。これらの機能はすべて、あらゆるリソグラフィのニーズに最適なソリューションです。