中古 ULTRATECH AP 300 #293631544 を販売中

ULTRATECH AP 300は、大量のフォトリソグラフィーアプリケーション用に設計されたステップアンドリピートウェーハステッパーです。この装置は、フォトマスクからウェーハにパターンを正確に投影的に配置して転送することにより、垂直視野（FOV）ウェーハステッパーの信頼性と正確な生産を提供するように設計されています。解像度は0。25 μ m、最小フィーチャーサイズは0。17 μ m、フォーカスバリエーションは0。008 μ mです。ULTRATECH AP300の最先端のエンジニアリングは、微細なアライメントウェハでは0。35秒、微細なアライメントウェハでは0。9秒と、業界をリードする速度を提供します。さらに、1時間あたり最大10,000ウェーハを生産できるため、時間と費用対効果の高い機械になります。ウェーハステッパーは、非常に洗練された正確な電動X-Yステージによって駆動されます。電動ステージは、サブナノメートル分解能と0。2 μ mの位置決め精度を備えています。この強力なモーターは、デバイスの高速動作が定義された精度内にとどまることを保証するのに役立ちます。これは、ウェーハステッピングアプリケーションのスループットを向上させるのに役立ちます。AP 300には、高精細12。7インチ700 TVLineカラーモニターと3D表示システムを備えた耐久性とコンパクトなハウジング設計が含まれています。観覧システムは中断なしでlithographyのプロセスを監視し、点検するために完全です。さらに、表示システムは高度な光学系と統合されており、2 μ mの精度と860-1200 μ mの視野でウェーハを検査することができます。ウェーハステッパーの使用を最適化するために、AP300はユーザーが幅広い操作をプログラムできるユーザーフレンドリーなソフトウェアで設計されています。ソフトウェアは製造エンジニアリング言語（MEL）とも互換性があり、ユーザーは効率的に操作を制御することができます。ULTRATECH AP 300は、剛性、精度、動作速度において効率的で信頼性の高いウェーハステッパーです。半導体、フラットパネルディスプレイなどの関連産業に応用し、一貫性と生産性を向上させたフォトマスク転送を製造しています。