中古 ULTRATECH AP 300 #293605731 を販売中

ULTRATECH AP 300ウェーハステッパーは、6までのシングルウェーハ処理を提供する高度で高性能なステッパーです。リソグラフィ、フォトレジストのコーティングと開発、ウェットエッチング、拡散、イオン注入など、幅広いプロセスにわたり、16ビットの位置分解能で、1.25µmの繰り返し可能なオーバーレイ登録精度で実行することができます。ULTRATECH AP300は、高解像度のエアベアリング気体放電照明（GDI）装置を採用し、光が歪むことなく自由に通過できるダブルレベルの光フィードスルー設計を特徴としています。ブリッジ、スキャン、フォーカス/線量/タイミング、正確なPAL/ESM制御などの高度な技術により、最高の解像度とオーバーレイ精度を実現します。これにより、6までの基板の表示と露出に特に適しています。AP 300は、溶接プロセスを実行することを可能にするアナート、高真空チャンバーを提供しています。このシステムは、光学フィードスルーと堅牢なマルチARC （Automatic Reticle Centering）制御ユニットと連携して、優れた性能と精度を提供します。ステッパーは、データ変換やブースター負荷などの高度なプロセスモードを統合することができます。データ変換モードは、スライスデータを3Dプロセスデータに変換し、自動マッピングおよび処理アプリケーションを可能にします。ブースター負荷モードは、歩留まりとスループット精度を向上させ、さまざまな基板材料に安定した連続負荷カーブを提供します。AP300は、高精度で迅速な開発時間を提供する高度なデジタルスキャナマシンを搭載しています。高速8ビットDSP （Digital Signal Processor）を備えたこのツールには、簡単でユーザーフレンドリーな制御のための6つの調整可能なノブが含まれています。このアセットには、卓越した性能と精度を提供する高解像度画像が搭載されています。ULTRATECH AP 300はまた反射防止コーティングを誇り、表面反射を減らし、レーザーパターンの明確な投影を保障します。さらに、ULTRATECH AP300には、チャンバー内の残留ガスを安全かつ迅速に除去するために設計された緊急フラッシュモデルも装備されています。また、障害が発生した場合にオペレータに通知および警告するように設計された障害ディスプレイも内蔵されています。AP 300は、優れた信頼性の高い性能と精度を必要とするユーザーに最適なツールです。その高度な技術とユーザーフレンドリーな設計により、集積回路製造プロセスに最適です。