中古 ULTRATECH AB200 #9181879 を販売中

ULTRATECH AB200は、半導体ウェーハの製造用に設計された自動ウェーハステッパーです。4軸ブラシレスリニアモーターシステムを搭載し、フィードバック制御に高精度エンコーダを採用しています。AB200は、4、5、6、8インチを含む幅広いウェーハサイズのクイックチェンジスリムレンズシステムを備えています。調節可能なZ軸と、精密なレベリングと均一なピックアップのための電動チャックを備えています。ウェーハは調整可能な安全な真空チャックで固定されています。ULTRATECH AB200の特長は、アクティブオプティカルアライメント、ウェーハオートセンシング、フロントサイドダウンスキャン、ステッピングディメンションアライメント、完全オートフォーカス、ソフトウェアベースのオートレチクルアライメントルーチンなどです。ラスター、直線、ベクトル選択など、最も一般的なフォトリソグラフィーイメージングフォーマットをサポートしています。安全面では、AB200はデュアルステージ技術を活用しています。このシステムは常にステッパーに信号を送り、ウェーハの積み下ろし時の安全性を確保します。さらに、ULTRATECH AB200は、汚染に対する保護を追加するための高度なグリットブラスト保護を提供しています。AB200は、効率的で信頼性の高い半導体ウェーハ処理を提供し、ウェーハダイシング、デバイス特性評価、ICテストなど、さまざまなアプリケーションに最適です。そのモーター式Z軸は、各ウェーハ表面の均一な処理のための正確なZ-高さ設定を支援します。そして、その調節可能な真空チャックは、各ウェーハサイズに最適化された安全なフィット感を提供します。ULTRATECH AB200は、費用対効果が高く信頼性の高いウェーハステッパーです。高精度で安全性に優れ、信頼性の高い半導体ウェーハ加工ツールです。