中古 ULTRATECH 900 #9233006 を販売中
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ULTRATECH 900ウェーハステッパーは、ウェーハ表面の反復可能なマイクロブリッジやその他のパターン化された機能を最小限の可変性で生成するように設計された完全に自動化されたステップ装置です。900は9nmの解像度で動作可能で、半導体業界ではラピッドプロトタイピングや量産に広く使用されています。ULTRATECH 900の9nm分解能により、ウェーハ表面に非常に精密で反復可能なパターンを作成できます。ステッピングシステムとして、島やウェーハ上の他のターゲット間の非常に小さなギャップを埋めることができ、狭い相互接続やチャネルの生成に適しています。900は信頼性が高いように設計されており、デバイスエラーやその他のコストのかかる中断を気にすることなく、連続した生産が可能です。光学分野では、ウルトラテック900に自動イメージングユニットを搭載し、ウェーハ表面にターゲットをより迅速かつ正確に配置します。900の追加機能は、ステップサイズとレーザー出力設定の自動チューニングにより、各パターン実行でプロセス分散をより大きな制御できます。ULTRATECH 900には、ステッピングプロセスに関連するすべてのデータを簡単に監視できるデータ収集および分析機も内蔵されています。900は高精度のアライメントツールによって駆動されるカルーセルステージを備えており、製造プロセス全体でウェーハターゲットを迅速にインデックス化できます。さらに、ULTRATECH 900はデュアルビームレーザーで構成されており、カットアウトやTジャンクションなどの複雑な形状や機能を生成するために使用できます。900はまた、より速いジョブの変更を容易にする自動ロードおよびアンロードステーションを含んでいます。ULTRATECH 900は、プロセスパラメータを監視および調整するための一連のツールで、低メンテナンスと使いやすさのためにも設計されています。さらに、900には、プログラム可能な電流および電圧制限、レーザパルス監視、ビーム遮断検出など、さまざまな安全機能が搭載されています。これらの機能は、電力異常から保護するのに役立ち、コストのかかる資産の損傷や生産の中断を防ぎます。ウルトラテック900は、高速・高精度・再現性を求めるお客様に最適なステッピングモデルです。高度なイメージング装置、デュアルビームレーザー、自動カルーセルステージおよびアライメントシステム、および自動負荷およびアンロードステーションを備えた900は、ウェーハ表面に再現可能なマイクロブリッジやその他の機能を最小限の可変性で生成することができます。
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