中古 ULTRATECH 900 / 1000 #9259722 を販売中

ID: 9259722
Stepper.
ULTRATECH 900/1000は、生産リソグラフィーイメージング用に設計されたウェハステッパー装置です。これは、最も厳しい欠陥の中で最高レベルの解像度を生成し、生産プロセスに比類のないレベルの精度を提供します。このモデルは、ビーム解析装置、高解像度ビジョンシステム、高度な画像合成・製作ユニット、高性能ウェーハハンドリングマシン、ウェーハステッパーそのものなど、多くのコンポーネントを利用しています。ビーム解析ツールは、さまざまなスキャン手法を通じて生産上の欠陥を特定するための体系的なアプローチを可能にします。これは、プロセスのイメージング精度を向上させる高解像度ビジョンアセットと相まって、最も複雑な機能セットの生産をさらに可能にします。Advanced Image Synthesis and Fabrication Model (AISFS)は、広範囲のフォトリソグラフィック機能を再現する際に高度な制御と精度を提供しながら、スループットを向上させ、製品サイクルコストを削減するように設計されています。この装置は、複数の基板材料、個々のマスクセットを処理することができ、また、生産イメージを作成するために、さまざまな部分的または全面的な露出を受け入れるように設計されています。ウェーハハンドリングシステムは、必要に応じて迅速かつ正確にウェーハを移動できる完全に自動化されたユニットを提供するように設計されています。このマシンには、広いフィールドセンサーを使用して正確な3D位置をキャプチャする多数のセンサーとマニピュレータが付属しています。さらに、ウェーハの正確かつ効率的な移動を可能にする高度なモーションプランナーを備えています。ウェーハステッパーと組み合わせることで、高精度かつ効率的な生産プロセスを実現します。900/1000ウェーハステッパーは、クラスで最も先進的な生産モデルです。ナノメートルスケールまでの距離を正確に測定できる高度な制御ツールを備えています。装置はまた、装置の精度に影響を与える可能性のある破片や汚染を低減するのに役立つウルトラクリーンチャンバーを使用しています。さらに、このモデルは10nmの解像度を実現することができ、非常に複雑な機能の生産において最高レベルの精度を得ることができます。全体として、ULTRATECH 900/1000は、市場で入手可能な最も正確で信頼性の高いウェーハステッパーであるように設計されています。幅広いコンポーネントと高度な技術により、装置は最小限の欠陥レベルで信じられないほど正確な結果をもたらすことができます。最高レベルの解像度機能を提供し、合理化された設計により、生産イメージングに必要なコストと時間を削減できます。
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