中古 ULTRATECH 2700 #9312331 を販売中

ULTRATECH 2700ウェーハステッパーは、半導体製品の自動化およびコンピュータ化されたリソグラフィ装置です。ウェーハに薄膜層を適用するために特別に設計されており、さまざまなフィルムタイプと設定を備えた一連のレンズとイメージングシステムを介してウェーハを進めています。2700は12×12インチの視野を持ち、焦点深度は± 3。5 μ mである。1〜20秒の露出時間が可能で、様々な用途に適しています。ULTRATECH 2700ウェーハステッパーの主なコンポーネントには、プロジェクター、レンズ、ポッド、ウェーハカセット、ステッピングヘッド、コントロールコンピュータがあります。プロジェクターはウェーハ上にパターンを投影する役割を担い、レンズシステムは視野の大きさを変えるために使用されます。ステッピングヘッドは、正確な方法で視野を越えてウェーハを移動する責任があります。ポッドは、カセットとステッピングヘッドの間でウェーハを交換するために使用されます。ウエハカセットは、処理中にウエハを保持するために使用されます。最後に、制御コンピュータはウェーハの動きを制御し、フィルムの露出を管理する責任があります。2700ウェーハステッパーは、直径8インチまでのウェーハ処理が可能で、最大3。6 Hz （3。6露光/秒）の速度が可能です。複数のウエハサイズに対応でき、高度な制御ユニットにより、露出時の正確なアライメントが保証されます。オンボード診断機は露出を監視し、あらゆる問題に対するフィードバックを提供します。その高度な熱管理ツールは、アセットがプロセス全体にわたって熱的に安定したままであることを保証します。最後に、ULTRATECH 2700 Wafer Stepperには、誤ったフォーカス調整による散乱を軽減するキャリブレーション手順や、ユーザーが特定のジョブのモデルを素早く設定できる自動作成オプションなど、さまざまな便利な機能が含まれています。In-situ defocused process filmやdry-process filmなど、幅広いフィルムタイプに対応可能です。全体として、2700ウェーハステッパーは、半導体処理のために特別に設計された高度で自動化されたコンピュータ化されたリソグラフィ装置です。直径8インチまでのウェーハ加工が可能で、幅広い露光時間にわたって高い精度と精度を提供します。高度な制御システムにより、露出時の正確なアライメントが保証されますが、自動作成オプションなどの便利な機能により、ジョブの設定にかかる時間を短縮できます。