中古 ULTRATECH 2244i #9397143 を販売中

ULTRATECH 2244iウェーハステッパーは、6インチまでのシングルウェーハ処理用に設計された自動ウェーハ処理装置です。ステッパーはステッピングモーター技術を利用しており、非常に正確で再現可能な露光時間を可能にします。ステッピングシステムはまた0。1ミクロンの順序の決断の5ミクロンまで特徴サイズを組み込みます。ユニットの主なコンポーネントは、ステッピングエンジン、イメージエンコーダ、ウェハンドラ、フォーカッサー、コリメータ、シャッターです。ステッピングエンジンは、クローズドループ制御機、モーターおよびモータードライブ、および露光時間中にステージを正確に配置するエンコーダで構成されています。エンコーダは画像位置を記録します。これにより、非常に正確で反復可能な露光時間を実現し、ウエハハンドラは最大200mmのウエハを保持できます。Focusserは2軸メカニズムを使用して、露出領域全体で一貫した焦点を確保します。コリメータは真空冷却され、パターンエッジの不要な露出を最小限に抑え、パターンエクスポージャーの分解能を高めるように設計されています。シャッターは電子的に作動し、鮮明なイメージを保障し、イメージの重複のアーティファクトを最小にするように設計されています。2244iは、最も要求の厳しいアプリケーションのための回路のハイエンド、高精度パターニングを可能にします。このステッパーは、電子ビームリソグラフィ（EBL）、深紫外線（DUV）、紫外線（UV）、電子ビームライター（EBW）などの標準プロセスと互換性があります。データ処理の手動と自動の両方の方法が利用可能です、ステッパー構成の厳密な制御を可能にするソフトウェアだけでなく、。安全インターロック、緊急停止、および可聴アラームおよび外部タイマーなど、オペレータとステッパーの両方を保護するために安全機能が組み込まれています。このツールは、パワーノイズと干渉保護、短絡保護、および過熱制御でも設計されています。ULTRATECH 2244iウェーハステッパーは、要求の厳しいアプリケーション向けに設計された、十分に設計された高性能シングルウェーハプロセッサです。このアセットは、高度なステッピングモータ駆動段とエンコーダにより、高解像度で正確な露光時間を実現しています。また、緊急停止やアラームなどの安全機能も備えており、ウェーハ処理に安全で信頼性の高いソリューションを提供します。このモデルの高性能と信頼性により、最も要求の厳しいアプリケーションに最適なソリューションです。