中古 ULTRATECH 2244i #9182056 を販売中

ULTRATECH 2244iウェーハステッパーは、イメージングウェーハにおいて比類のないレベルの精度を提供する精密リソグラフィーツールです。マスクからウェーハへのアライメント用のエキシマレーザーと高解像度イメージング用の高精度ステッパーを備えたステップアンドリピート顕微鏡を備えた汎用性の高い装置です。2244iは、Zeiss光学系、高度な光学設計、および専用部品を利用して、20nm以下の画像解像度で最も複雑なパターンを生成することができます。このユニットは、すべての業界標準に準拠しており、ウェーハアプリケーションを24時間365日生産するための信頼性の高い動作を提供します。ULTRATECH 2244iは、パターンの正確かつ再現可能なアライメントとオーバーレイのためのダイレクトドライブ電動マスクステージと、高い自動化と再現性を確保するウェーハステージ用の精密なモーションユニットで構成されています。対向するリニアモーションアクチュエータのデュアルペアを備えたダイレクトドライブモータ駆動テーブルを採用し「、ばねのような」動作と迅速な精度と再現性で超高精度な動作を実現します。また、適切な画像アライメントと登録を確保するために「、ヘッドオン」アライメントスキャナが付属しています。2244iは、最適化されたイメージングオプティクス、リフレクター、開口部、コンデンサーなどのハイエンド光学部品を使用して、優れた性能と精度を保証します。このマシンは、160mmの焦点距離と254mmの作動距離に非常に対応するように設計されており、幅広いウエハサイズとジオメトリとの互換性を可能にします。光学ツールは、環境変動からの影響を最小限に抑えるために、統合された安定した光路を備えています。ウェーハの網膜上のパターンの正確なアライメントとオーバーレイのための統合されたレーザーアライメントのアセットが含まれています。PCベースのユーザーフレンドリーなデジタル制御装置により、露光時間、レーザー出力、シャッタースピードなど、すべての画像パラメータを正確に調整できます。これにより、基板全体にわたる優れた画像忠実度と再現性が保証されます。全体として、ULTRATECH 2244iウェーハステッパーは、精度と再現性を備えたさまざまなアプリケーションを実行するために設計された高度なリソグラフィーツールです。その多目的な構成は、基板上の複雑なパターンを作成するのに理想的であり、優れた精度と画像解像度を提供します。