中古 ULTRATECH 2244i #293761742 を販売中

ULTRATECH 2244iウェーハステッパーは、フォトリソグラフィック処理に役立つように設計された高度な装置です。フォトレジストパターンを半導体ウェーハに素早く正確に露出させることができます。ステッパーはオールストリート構成で、さまざまなフォトリソグラフィ用途に優れた速度と精度を提供します。ULTRATECHは、最大150mmまでのウェーハに対応できるスライディングウェーハトレイを備えた多軸ステージを備えています。ステージは高精度のリニアモータを持ち、6方向に動くことができます。また、無制限のパターンバリエーションのためのワイヤグリッド回転も備えています。ステージはZIZ制御システムに接続されており、露出中のエラーを検出して修正できる適応学習アルゴリズムを備えています。ULTRATECHはまた、露出からオペレータと環境の両方を保護するためのボディシールドと排気ユニットを備えています。このマシンには、ワークスペースから揮発性ガスを遠ざけるデュアルガスラインを備えた抑制マシンも含まれています。このツールには、露出デッキとさまざまな照明ソースも付属しています。電子ビーム、紫外線、深い紫外線露光源を使用することができます。露出デッキには、オートフォーカスのアセットと、露出前にウェーハを正確に配置できるオートアライメントモデルも含まれています。また、露出制御ユニット（ECU）と光統合ユニット（LIU）の両方を備えており、正確な露出を確保します。最後に、このマシンには使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が搭載されています。このGUIにより、オペレータはステッパーを素早くプログラムして制御することができます。シミュレーション機能が内蔵されており、露出を監視するためのジョブ履歴機能も備えています。2244iウェーハステッパーは、フォトリソグラフィック処理のための優れたツールです。半導体ウェーハへのフォトレジストの迅速かつ正確で信頼性の高い露光が可能です。多軸ステージ、ZIZ制御システム、ボディシールド、排気ユニット、露出デッキ、照明ソース、オートフォーカスマシン、GUIが含まれています。ULTRATECH 2244iウェーハステッパーは、あらゆるフォトリソグラフィ用途に最適です。