中古 ULTRATECH 2244i #293690209 を販売中
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ULTRATECH 2244iステッパーは、金型およびウェーハステッパー用途向けの高度で精密なリソグラフィーツールです。これは、優れた解像度、均一性、再現性を提供しながら、高速かつ正確なウェーハとダイアライメントを提供するように設計されています。最大600mm/秒のスキャン速度で、2244iは要求の厳しいイメージング要件に幅広く対応できます。ULTRATECH 2244iは10mmまでの大きいスキャン範囲および0。5 μ mよりきめ細かい決断のイメージの忠実度の高レベルを、達成するように設計されています。モーター式の高精度オプティカルマスクアライメント装置とスプリットフィールドアライメントにより、光学系の焦点と利得を迅速かつ正確に調整し、ウェーハとマスクジオメトリの違いを補正します。また、高精細画像を実現するため、高性能な照明制御や多彩な照明パターンを提供しています。2244iは最先端のoptomechanical設計を利用します。高ダイナミックレンジのサーボピエゾモーションコントロールユニットは、高精度スキャンおよびイメージングアプリケーションで低ノイズ動作と高速セトリング時間を提供します。プログラマブルな高解像度ステージはサブミクロンの増分モーションコントロールが可能で、素早いダイジャンプに高速なステップ&リピート画像登録を提供します。ULTRATECH 2244iアダプタは、200mmおよび300mmの半導体ウェーハを素早く簡単にツールにロードできます。その汎用性の高いソフトウェアと高度なオートメーションオプションにより、幅広いロボティクスおよびオートメーションシステムとの統合が可能です。アセットはまた、150°Cまでのプログラム可能な温度環境で最適化された雰囲気を提供します。2244iは、コストと時間のかかる光学調整の必要性を排除し、最大スループットで高速かつ正確なイメージングに理想的なプラットフォームを提供します。比類のない画像精度と均一性により、生産レベルのアプリケーションに最適です。
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