中古 ULTRATECH 2244i Series #293628682 を販売中

ULTRATECH 2244iシリーズは、最先端のフォトリソグラフィープロセス用に設計された最先端のウェハステッパーです。信頼性の高いフルサイズのウェーハステージを備え、最大200mmのウェーハサイズに対応します。このシステムは、高度な1軸スキャナ設計により、優れた精度と再現性を提供します。0。74 NAプロジェクション光学系を採用したこの2段スキャナは、1ナノメートルまでのビーム位置決め精度で、高解像度と高速スキャンの両方を実現します。ULTRATECH 2244iは、さまざまな露出フィールドのサイズと露出時間をスキャンすることもでき、さまざまなフォトリソグラフィープロセスに適しています。ULTRATECH 2244iはまた、高度な光学系を使用して、ステップアンドリピート、連続ライン、エリアラスタースキャンなど、さまざまなスキャンモードを提供します。また、レンズアライメント、露出、ズーム設定を自動化し、一貫性のある反復可能な結果を保証します。このシステムは、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを表示する10インチのカラータッチスクリーンインターフェイスを備えたユーザーフレンドリーなコントロールパネルを備えています。これにより、多数のスキャンおよび露出パラメータを迅速に設定し、バッチ処理とアーカイブ露出設定を行うことができます。ユーザーは露出レシピを作成し、スキャナのライブラリに保存することもできます。ULTRATECH 2244iは、バックサイド処理、自動フォーカス認識、アライメント精度制御など、多くのプロセスサポートツールも提供しています。ULTRATECHプロセス制御ソフトウェアと完全に互換性があり、追加のプロセス制御およびシミュレーション機能を提供します。さらに、ウルトラテック2244iは高度なマウントロボットモジュールを備えており、迅速かつ効率的なウェハハンドリングを可能にします。それにまた有効な汚染物の保護システムのための任意きれいな部屋があります。ULTRATECH 2244iは、フォトリソグラフィのための強力で正確なツールをユーザーに提供します。