中古 ULTRATECH 1700 MVS #9131885 を販売中

ID: 9131885
ヴィンテージ: 1999
Stepper 1999 vintage.
ULTRATECH 1700 MVS(ウルトラテック1700 MVS)は、先進半導体デバイスの製造用に設計された高性能ウエハステッパーです。チップメーカーからパッケージングエンジニアまで、幅広いユーザーを対象としています。1700 MVSは、高度なCCD (Charge Coupled Device)パターン、モーションコントロール、デジタルイメージング、自動化されたアライメントなど、多くの高度な機能を備えており、優れた光学性能を提供します。ウルトラテック1700 MVSには、モーションコントロールとデジタルイメージング用の慣性装置が搭載されており、ウェーハ上でテスト中のデバイスを正確かつ正確にアライメントできます。制御と精度を向上させるために、サブミクロンシリコンウェーハの位置決めと、光学精度を向上させるための二軸傾きを提供します。ユニットのパターンアライメント精度は、生産IC機能のアライメントを実現するのに十分な高精度です。1700 MVSは、正確なパターンアライメントを提供するだけでなく、高度なCCDベースのイメージングとパターニング技術も備えています。これには、自動フィーチャーとエッジ認識、およびオーバーレイの最適化が含まれます。ウェーハエッジのフォトアライニングにも使用でき、ウェーハツーウェーハ処理に特に便利です。ワークフローの面では、ULTRATECH 1700 MVSは機械のセットアップ時間を短縮し、工具のスループットを最大化するように設計されています。このアセットは、高度なウェーハクランピングルーチンと複数のウェーハサイズと構成で、高速なウェーハローディング時間を提供します。また、自動、手動、または組み合わせモードのロードとアンロードも提供します。さらに効率を高めるために、このモデルは内蔵の視覚制御マニュアルオーバーライドと、3-PIスキャン用の直感的なビジュアルディスプレイを提供します。要約すると、1700 MVSは、高度なICデバイスの生産のために設計された強力で汎用性の高いウェーハステッパーです。高度なモーションコントロール、CCDイメージング、パターニングとワークフローの自動化を組み合わせ、ユーザーは優れたパフォーマンスレベルと高速スループットを達成できます。その機能と構成オプションの範囲は、オートメーションからパッケージングまで、さまざまなアプリケーションでの使用に適しています。
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