中古 ULTRATECH 1500 #9399241 を販売中
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ULTRATECH 1500は、半導体デバイスの製造に使用される高精度かつ超精度のウェーハステッパーです。ウェーハに優れたウェーハとウェーハをマスク登録し、今日の最も複雑なマイクロチップ設計のための優れた光学オーバーレイ精度と安定性を提供するように設計されています。1500は、高度な光学、モーションコントロール、モーションメカニクス、ソフトウェア技術を独自に組み合わせ、高度なデバイス製造に必要な高精度と超精度を実現しています。高度な光学系にはアンカーグレーティングステージがあり、特許取得済みのオフアクシスイメージング装置を使用することで、高精度で反復可能な基板位置決めと連続的な曲率依存の画像補正が可能です。また、オートフォーカス機能と自動補正機能を内蔵し、ウェーハからウェーハ、ウェーハまでの高いウェーハを維持し、基板表面の変化に応じて登録精度をマスクします。ULTRATECH 1500は、最先端のモーションコントロールとメカニクス技術を活用し、高精度、再現性、スピードを実現しながら、最小限の機械的動作を実現します。これには、高精度のリニアモータを使用し、摩擦が非常に低く、温度感度が非常に低いため、高い再現性と高速性があり、最適なスループットを確保できます。また、独自のモーションコントロールアルゴリズムをベースにした高精度なデュアルドライブモーションコントロールユニットと、高精度かつスムーズな動作を可能にする高性能サーボモータを搭載しています。1500は、より効率的なパターニング操作を可能にするアルゴリズムとソフトウェア技術のユニークな組み合わせによって、他のウェーハステッパーとは別に設定されています。例えば、ULTRATECH 1500は、独自の空間フィルタ技術を使用してパターニングノイズの汚染や量子ノイズの影響を低減する高密度パターニングソフトウェアを内蔵しており、ステッパーと生産工程の他の機器を同期させる独自の同期機能を備えています。1500はまた、最高レベルのプロセスオートメーションソフトウェアと統合されており、ユーザーはハイエンドの機能制御をサポートし、マシンスループットを強化し、オンライン監視と改善を可能にします。これらの高度で高性能な技術はすべて、クラス最高のアイテム間オーバーレイ精度とプロセス精度を保証します。ULTRATECH 1500は、ウェーハステッパーの業界標準を設定しています。高度な光学、モーションコントロール、メカニクスと強力なソフトウェア技術が組み合わさり、現在最も複雑な半導体デバイスの生産に最適化された高性能、低コスト、および改善されたプロセスをユーザーに提供します。
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