中古 ULTRATECH 1500 #9303089 を販売中

ULTRATECH 1500は、半導体製造に使用される強力で高精度なウェーハステッパーです。ウェーハ表面にパターンを作成する光源にそれらを露出することにより、優れた速度と精度でウェーハを正確に処理するように設計されています。それは同じプロセスの高精度そして複雑さの完全に集積回路を製造するのに使用することができます。1500はステッピングプラットフォームとリソグラフィーコントロールユニットで構成され、ステッパーに接続されて画像をウェーハに配信します。構造をウェーハに正確にアライメントするためのプリセットアライメント装置を備えており、非常に詳細で正確なパターンを生成します。それはまた、パターンの焦点とサイズが正確であるように、フォーカスとステッピングアライナーが付属しています。アライメント精度は0。1ミクロンよりも優れており、パターンのサイズの精度は0。5ミクロンよりも優れています。これにより、ユーザーは簡単に複雑で小さな電子回路を作成することができます。ULTRATECH 1500は、ウエハートポグラフィーと熱効果による歪みを最小限に抑える超高分解能の安定光学システムを搭載しています。光学ユニットは、最大10〜20 mJ/cm2のエネルギーをウェーハに露出させることができ、これは実質的に競争力のある機器以上のものです。ウェーハステッパーには自動停止および露出制御機能も搭載されており、ステッパーがウェーハを過剰に露出または損傷しないようにします。1500はまた修理および維持のプロシージャの点で非常に先進的です。手作業による介入を最小限に抑え、製造メーカーは生産性を向上させ、ダウンタイムを削減できます。これは、迅速かつ正確にエラーを検出し、診断することができますメンテナンス指示と自己診断と自動故障検出のような高度なメンテナンス機能が装備されています。全体として、ULTRATECH 1500は強力で高度なウェーハステッパーであり、ウェーハを驚異的な速度と精度で処理することができ、製造メーカーが高精度で複雑な集積回路を製造するのを支援します。超高分解能の光学機械、自動停止および露出制御、高度の修理および維持のプロシージャおよびウェーハの生産の効率を改善するのを助けることができる自己診断システムのような特徴の範囲が付属しています。