中古 ULTRATECH 1500 #9249624 を販売中

ULTRATECH 1500ウェーハステッパーは、さまざまな基板ウェハの位置決めや操作に使用される精密電動装置です。このウェーハステッパーは、プリアライナー、スキャナー、クリーナー、染色システム、スピンコーター、フォトレジストコーターなどのプロセスモジュール間でウェーハを正確に移動するように設計されています。1500ウェーハステッパーは、X-Y平面でウェーハを正確かつ一貫した操作を可能にする独自のX-Y軸制御システムを備えています。ステッパーは、12µm精度のウェハの位置決めが可能であり、広範囲の温度およびユニット圧力で動作します。ULTRATECH 1500ウェーハステッパーには、マイクロプロセッサコントローラと制御ロジックを内蔵したソリッドステートドライブマシンが装備されています。これにより、ドリフトなしのX-Y軸モータの両方を独立して制御することができ、信頼性の高い正確なウェーハ操作が可能になります。制御ロジックには、ツール接続時の自動開始/停止やツールの破棄などの機能も含まれています。ステッパーには、1つの位置から次の位置に遷移するときに迅速な応答と高精度を提供するフィードバックツールが内蔵されています。さまざまなプロセス要件に対応するために、1500ウェーハステッパーにはさまざまなインターフェースオプションが用意されています。自動化されたULTRATECHドライバテクノロジー、2種類のウエハハンドリングシステム、さまざまな外部I/Oおよび通信ポートが含まれます。さらに、ユーザーがモータ速度を正確に制御および調整できる多数のソフトウェアパッケージを装備することができます。この機能により、動作中の速度をリアルタイムで調整することもできます。ULTRATECH 1500ウェーハステッパーはステンレス鋼から組み立てられ、優れた耐久性と耐食性を提供します。ステッパーには、正確な圧力センサー、温度センサー、過負荷保護などの複数の安全機能も含まれています。最終的に、1500ウェーハステッパーは、市場で同様の価格のウェーハステッパーと比較して優れた性能、信頼性、および制御を提供します。