中古 ULTRATECH 1500 #9244762 を販売中
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ULTRATECH 1500は、ウルトラテック株式会社が開発した高度なウエハステッパーです。最大4枚のフォトマスクの同時露出が可能な全自動マシンで、最小露出サイズは最大12mmです。この機能により、1500は最高の精度と精度でウェーハ上の複雑なパターンを生成することができます。ULTRATECH 1500には、露出プロセスを駆動するために使用される一連のキネマティックアームが含まれています。マシンのキネマティックアームは、ウェハの上面に露出位置を作成し、座標軸についての希望の露出を回転させます。この設計により、露出を任意の方向に調整することができ、他のシステムとシームレスに統合できます。さらに、1500は、さらなる露光時間を必要とせずに、最小の部品でも露光できる高度なレーザーレンズ装置を備えています。システムはまた、追加の調整や再調整を必要とせずに、優れた解像度とコントラストを提供します。ULTRATECH 1500は、高品質のサーマルコントローラを使用して、一貫した露出品質を確保します。この機能は、露出のばらつきを最小限に抑え、最適なパフォーマンスを実現します。このマシンには、2つの電動移動ステージと、効率的なユニット操作を容易にするマスク/レチクル処理装置も含まれています。安全のために、1500は緊急停止、連結機械および人間機械インターフェイスが装備されています。この安全機能により、予期せぬ故障が発生した場合、オペレータは工具操作をすばやく停止できます。ULTRATECH 1500は、さまざまな洗練された機能を備えたウェーハ加工のための包括的なソリューションを提供します。アセットの自動キネマティックアーム、レーザーレンズモデル、高精度サーマルコントローラは、一貫した信頼性の高い露出品質を促進し、お客様が最適な結果を得ることができます。このマシンはまた、ユーザーの安全と機器の信頼性を確保するための安全機能を提供します。
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