中古 ULTRATECH 1500 #9244742 を販売中

ULTRATECH 1500は、独自に設計された機械システムを備えた完全密閉型ウェーハステッピング装置で、安定した正確な性能を提供します。このユニットは、1インチ（25mm）から4インチ（100mm）までのサイズの基板を処理することができ、酸素、水素、窒素などのプロセスガスの範囲を実行するように設計されています。その革新的なデザインは、独自のサブ秒の位置決め精度を備えており、チップを基板に簡単かつ一貫したアライメントを可能にします。マシンの主なコンポーネントには、多軸スキャンプラットフォームと、交流電流モータとダイレクトドライブ（ギアなし）リニアアクチュエータからなるリニアドライブサブシステムが含まれます。この配置は、600mm/sのトップエンド速度と4Gの低加速で、スムーズで正確かつ高速な動作を可能にします。このツールの精度は、すべての軸でクローズドループエンコーダのフィードバックを通じてさらに高められ、アセットは正確に動きを複製することができます。プラットフォームは、基板へのデバイスの正確な自動アライメントとレシピの効率的な実行を保証する高度なソフトウェアによって駆動されます。また、ウェーハの自動読み込みと取り扱いにオプションのオートメーションパッケージを備えているため、オペレータが手動でウェーハを読み込む必要がありません。ウェーハステッパー装置として、1500は、オンザフライガスのパージ、排気、加圧、および故障解析のためのin-situレーザーアブレーションを可能にする、in-situガス供給システムを統合するオプションも提供します。さらに、統合された高度なRTIP（リアルタイムイメージングプロセッサ）を搭載して、オフライン検査およびステージング分析を可能にします。ULTRATECH 1500は、さまざまなウェーハ加工要件を満たすための理想的なマシンです。その最先端の設計と高度な機能により、信頼性の高いスループットと高品質の製品を保証します。このツールは、研究、小規模生産、さらにはプロトタイピングに最適で、競争力のあるコストで優れた品質を提供します。