中古 ULTRATECH 1500 #9244164 を販売中

ULTRATECH 1500は、半導体チップやその他の複雑な電子部品の製造に高精度フォトリソグラフィを提供するために特別に設計されたウェーハステッパーです。この先進的な装置は、レーザー駆動の虹彩を備えており、さまざまな基板上の非常に小さな回路の最も正確なアライメントとイメージングを提供します。独自の機能により、極めて精度の高いウェーハ加工が可能になり、ウェーハの露出時間も短縮できます。1500は5軸ステージと最先端の光学機器を備えており、正確な露出のための正確なアライメントを可能にします。この装置は、1つのウエハに複数の露出を発生させ、ビアの配置ミスを最小限に抑え、歩留まり損失を最小限に抑えます。さらに、ULTRATECH 1500は、±0.25µm精度で幅広い回路サイズとパターンを生成することができます。1500はまたそれを多目的および非常に有効にさせる10の異なったウエハサイズを収容することができます。また、高度なコンピュータコントロールソフトウェアを搭載しており、最大500種類のソースパターンをプログラミングし、超精密なパターン露出を実現します。さらに、ULTRATECH 1500はインテリジェントなウェーハID認識ユニットと統合されており、迅速かつ正確なウェーハ識別を実現します。1500には最先端のイメージング機能が搭載されており、0.4µmまでラインを作成できます。このウェーハステッパーは、露出中の焦点を絶対的な精度で調整できる独自のレーザーフォーカススポットコントロールも備えています。ULTRATECH 1500には、複数のウェハを加工しても常に露出が正確であるように、あらかじめプログラムされたレベルでレーザー出力を維持する自動レーザー電源制御機があります。結論として、1500は高精度で歩留まり損失を最小限に抑えた複雑で小さな回路パターンを処理するための理想的なウェーハステッパーです。5軸ステージ、レーザーパワーコントロール、インテリジェントウェーハID認識、調整可能なフォーカススポットコントロールなどのユニークな機能により、高精度で反復可能なフォトリソグラフィを保証します。