中古 ULTRATECH 1500 #9227854 を販売中

製造業者
ULTRATECH
モデル
1500
ID: 9227854
Stepper.
ULTRATECH 1500は、高度な半導体およびマイクロリソグラフィープロセス用に設計されたウェハステッパーです。最先端の技術により、精度と精度が高いことで知られています。1500は、高度なウェーハアライメント、スキャン速度、解像度、マルチビームパターン書き込みを組み合わせています。ULTRATECH 1500ウェハステッパーは、ビームスプリッタ光学技術の最新設計に基づいています。磁気レンズを備えたステッパー光学系を採用しており、光のビームを正確かつ正確に集中させるように設計されています。また、複数のビームで最大8つの露出ヘッドを制御することができる強力な格納型パターンライティングエンジンが付属しています。これにより、高精度で素早くスキャンおよび書き込みが可能になり、プロセスを完了するのに必要な時間が短縮されます。1500はまた露出の線量を制御するための柔軟性を提供し、露出の間違いを最小にし、基質の充満を減らすのを助けます。また、技術者が発生した問題を特定してトラブルシューティングするのに役立つオンボード診断も含まれています。ULTRATECH 1500には、緊急停止ボタン、暴露アラートの終了、および消火を含む統合安全システムも付属しています。これにより、技術者にとって安全な作業環境が確保されます。1500は、X線、電子ビーム、レーザー、深紫外線など、さまざまなイメージング技術と互換性があります。直径8インチまでのウェーハに対応できるため、さまざまなプロセスに適しています。また、露出パターンの包括的なライブラリがあり、さまざまな回路レイアウトにすばやくアクセスできます。ULTRATECH 1500は、信頼性の高い性能、高精度な結果、優れた安全機能を提供する高度なリソグラフィーツールです。幅広いタスクを迅速かつ正確に実行できるため、さまざまなプロセスに高い信頼性があります。
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